[发明专利]基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置

权利要求书

1.一种基板保持机构，其特征在于：

包括保持体和功能性元件，所述保持体具有用来保持基板的保持面，所述功能性元件设置在所述保持面上，其粘接力会根据电压大小的改变而变化，

所述功能性元件是功能性粘接元件，其包括：粘性介质，其具有电绝缘性；电流变颗粒，其分散在所述粘性介质中；电极对，通过其向所述粘性介质施加电压。

2.根据权利要求1所述的基板保持机构，其特征在于：

所述粘性介质具有：第一表面，其为用来设置所述电极对的电极设置面；第二表面，其为粘接力受控面，通过改变施加给所述电极对的电压的大小可以控制其粘接力的大小。

3.一种基板组装装置，其特征在于：

包括支承台和保持机构，所述支承台用来支承下侧基板，所述保持机构包括保持面和功能性元件，所述保持面用来保持上侧基板的上表面，所述功能性元件设置在所述保持面上，其粘接力会根据电压大小的改变而变化，所述保持机构会使所述上侧基板的下表面和被所述支承台所支承的所述下侧基板的上表面面对，

所述功能性元件是功能性粘接元件，其包括：粘性介质，其具有电绝缘性；电流变颗粒，其分散在所述粘性介质中；电极对，通过其向所述粘性介质施加电压。

4.根据权利要求3所述的基板组装装置，其特征在于：

所述粘性介质具有：第一表面，其为用来设置所述电极对的电极设置面；第二表面，其为粘接力受控面，通过改变施加给所述电极对的电压的大小可以控制其粘接力的大小。

5.根据权利要求3所述的基板组装装置，其特征在于：

还包括使所述上侧基板的上下表面翻转的翻转机构。

6.根据权利要求3所述的基板组装装置，其特征在于：

还包括向所述上侧基板施加朝向所述下侧基板一侧的压力的加压机构。