[发明专利]基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如在液晶显示器组装工序中使用的基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置。 

背景技术

用于液晶显示装置中的液晶面板的结构为：在两张透明基板之间封入液晶层而形成，其中，在透明基板的表面上形成有透明电极膜、定向膜、薄膜晶体管阵列或滤色片等。在现有技术中，人们公知两种作为该液晶面板的制造方法。第一种方法是在一张基板的贴合面上涂敷粘接剂，该基板与另一张基板粘合之后，在两张基板之间注入液晶层来制成液晶面板的方法。第二种方法是在一张基板的贴合面上涂敷粘接剂和液晶材料后再与另一张基板粘合来制成液晶面板的方法。无论哪一种方法，考虑到为了防止出现液晶面板中残留空气(产生气泡)的情况，都必须在真空环境中进行基板粘合作业。 

作为粘合基板的方法，一般采用使两张基板在由上向下互相面对并完成定位之后再粘合的方法。这时候就需要用到用来保持位于上方一侧基板的保持机构。作为这种基板保持机构而言，人们公知有机械夹紧机构、真空吸附机构和静电吸附机构等典型机构。 

但是，使用机械夹紧机构时有如下问题：其与基板产生机械接触而出现粉末；该机械夹紧机构的结构较为复杂。使用真空吸附机构时，虽然能够简化其结构，但不适合在真空环境中使用。此外，虽然静电吸附机构不仅可以在一标准大气压环境中使用，还可以在真空环境中使用，但是由于消除基板上的静电需要花较长的时间，所以有无法迅速解除其吸力的问题。 

另外，除了上面提到的几种基板保持机构之外，人们公知有采用 粘接方法的基板保持机构(例如参照专利文献1、专利文献2)。图9表示专利文献1中所记载的基板组装装置的大致结构。 

图中所示的基板组装装置1包括：下空腔单元4，其包括用来支承下侧基板2的支承台3；上空腔单元7，其包括用来保持上侧基板5的粘接带6。在X-Y平面内，下空腔单元4可以相对于上空腔单元7移动，而支承台可以在下空腔单元4内围绕Z轴(沿θ方向)转动。另外，在Z轴的轴向方向上，上空腔单元7可以相对于下空腔单元4移动。因此，相对于上空腔单元7内的上侧基板5而言，可以使下侧基板2与之定位。 

在上空腔单元7中设置有粘接带6的卷放单元8和卷收单元9。如图所示，粘接带6的下面一侧是粘接面，上侧基板5的上表面粘接在上述粘接面上而被保持。在粘接带6的上方一侧设置有加压板10，该加压板10用来向上侧基板5施加朝向下侧基板2一侧的压力，加压板10可以相对于上空腔单元7升降。 

当粘合基板时，在完成上侧基板5和下侧基板2之间的定位之后，上空腔单元7和下空腔单元4会通过密封圈11来相互结合。接着，用排气管12使空腔内呈真空状态。在下侧基板2或上侧基板5的贴合面上预先涂有粘接剂。因此，通过驱动加压板10来使上侧基板5接合在下侧基板2上，基板2和基板5就会互相粘接在一起。当加压板10后退到图示的待机位置之后，卷收单元9会沿上侧基板5的上表面朝着图中箭头A的方向移动。这样，粘接带6从上侧基板2上被剥离。当空腔与外界的空气连通之后，可以使空腔单元4和空腔单元7之间分离，从而可取出下侧基板2和上侧基板5结合在一起的结合体。 

此外，专利文献2中记载了这样的结构：对于上述基板组装装置，在其加压板上的贯穿孔中插入基板推压棒，驱动该基板推压棒使其在上下方向上移动，从而使粘接在粘接带上的上侧基板与之剥离。 

【专利文献1】日本专利公开公报2001-133745号 

【专利文献2】日本专利公报3819797号 

但是，上述现有技术中公开的使用粘接带的基板保持机构有下述技术问题：当基板接合之后，用来使粘接带与上侧基板剥离的机构较为复杂。此外，当基板的厚度比较薄时，在剥离粘接带时产生的应力会使基板变形或破损，因而有不能始终正常地保持或释放基板的可能。 

发明内容

鉴于上述技术问题，本发明的目的在于提供一种基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置，该基板保持机构结构简单，而且可以始终正常地保持或释放基板。 

为了实现上述目的，本发明的第一实施方式中的基板保持机构包括保持体和功能性元件。上述保持体具有用来保持基板的保持面，上述功能性元件设置在上述保持面上，其粘接力会根据电压大小的不同而改变。