[发明专利]感光性树脂和微透镜的制造方法

权利要求书

1.一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)、化合物(B)和交联 性化合物，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单 元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团，所述 聚合物(A)含有式(1)所示的结构单元，且当将构成所述聚合物(A)的结构单 元的总数设为1.0时，式(1)所示的结构单元的个数n1的比例满足 0.3≤n1≤1.0，

式(1)

式(1)中，

R₁表示碳原子数1～10的烷基、巯基、或碳原子数1～10的烷硫基，

R₂表示羧基，

R₃表示氢原子或甲基，

m3表示1或2的整数，

当m3＝1时，m2表示1～7的整数，m1表示满足0≤m1≤(7-m2)的 整数，并且

当m3＝2时，m2表示1～9的整数，m1表示满足0≤m1≤(9-m2)的 整数，

所述交联性化合物为式(9)或式(10)所示的交联性化合物，

式(9)

式(9)中，k表示2～10的整数，m表示0～4的整数，R¹表示k价 的有机基团，

式(10)

式(10)中，k表示2～10的整数，R₁表示k价的有机基团。

2.一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)、化合物(B)和交联性 化合物，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单 元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团，所述 聚合物(A)含有式(2)所示的结构单元和式(3)所示的结构单元，且当将构成 所述聚合物(A)的所有结构单元的总数设为1.0时，所述式(2)所示的结构单 元的个数n2的比例和所述式(3)所示的结构单元的个数n3的比例满足 0.2≤n2≤0.8、0.1≤n3≤0.7、0.3≤n2+n3≤1.0，

式(2)

式(2)中，

R₁表示碳原子数1～10的烷基、巯基、或碳原子数1～10的烷硫基，

R₃表示氢原子或甲基，

m3表示1或2的整数，

当m3＝1时，m1表示0～7的整数，

当m3＝2时，m1表示0～9的整数，

式(3)

式(3)中，

R₄和R₅分别表示氢原子、甲基、羧基或碳原子数1～3的羧烷基，

Q表示单键、碳原子数1～3的亚烷基或碳原子数6～10的芳香族基 团，

所述交联性化合物为式(9)或式(10)所示的交联性化合物，

式(9)

式(9)中，k表示2～10的整数，m表示0～4的整数，R¹表示k价 的有机基团，

式(10)

式(10)中，k表示2～10的整数，R₁表示k价的有机基团。