[发明专利]透明隔离膜及其制备方法

权利要求书

1.包括透明热塑性膜和至少一层防渗透层的透明隔离膜，其特征在 于，该防渗透层由元素锌、锡和氧的化学化合物构成，其中锌的质量含 量为5％-70％。

2.权利要求1的隔离膜，其特征在于，该防渗透层的厚度为20 nm-1000nm。

3.权利要求2的隔离膜，其特征在于，该防渗透层的厚度为50nm-300 nm。

4.上述权利要求之一的隔离膜，其特征在于，在朝向所述热塑性膜 的一面上的防渗透层具有至多5％的碳质量含量。

5.权利要求1的隔离膜，其特征在于，该隔离膜包括至少一层其它 层。

6.权利要求5的隔离膜，其特征在于，第一其它层为导电性的且具 有小于2x10^-3Ω·cm的比电阻。

7.权利要求5的隔离膜，其特征在于，第二其它层含元素硅和碳， 其中碳质量含量为1％-10％。

8.用于制备包括透明热塑性膜和至少一层防渗透层的透明隔离膜的 方法，其特征在于，该防渗透层借助于真空涂覆法作为元素锌、锡和氧 的化学化合物进行淀积。

9.权利要求8的方法，其特征在于，该防渗透层的厚度为20nm-1000 nm。

10.权利要求9的方法，其特征在于，该防渗透层的厚度为50nm-300 nm。

11.权利要求8-10之一的方法，其特征在于，该防渗透层通过溅射 淀积。

12.权利要求11的方法，其特征在于，含锌和锡的合金的靶在引入 反应性气体氧的条件下溅射。

13.权利要求12的方法，其特征在于，借助调节回路控制氧的引入， 其中由溅射等离子体的光学发射谱确定调节量。

14.权利要求13的方法，其特征在于，确定由锌或锡的发射谱线和 所用惰性气体的发射谱线的商作为调节量。