[发明专利]光罩用基板、光罩用基板的成形构件、光罩用基板的制造方法、光罩、及使用光罩的曝光方法

权利要求书

1.一种光罩用基板，是由厚度均一的板状构件构成的光罩用基 板，其特征在于：

具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及与上述第 1面相对向的第2面；

上述第1面呈由相对向的一对第1组的边、及以连结该第1组的 边的方式延伸的相对向的一对第2组的边构成的四边形，沿着上述第 1组的各边的端部具有用以支持上述光罩用基板的支持部；

以上述第1面呈铅直状态的方式保持上述光罩用基板时，以通过 上述光罩用基板的重心且延伸于上述光罩用基板的厚度方向的轴线 与上述第1面相交的交点作为上述第1面的中心点；

将与上述中心点处的上述第1面的切平面平行的参照平面，定义 在上述第1面的前侧时，上述第1面的中心点与上述参照平面之间的 沿着上述厚度方向的第1距离，短于上述第2组的各边的中点与上述 参照平面之间的沿着上述厚度方向的第2距离。

2.如权利要求1所述的光罩用基板，其中，以上述第1面呈铅直 状态的方式保持上述光罩用基板时，在上述第2组的各边中，该边的 上述第1组的边侧的部分与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向的 距离短于上述第2距离。

3.如权利要求1所述的光罩用基板，其中，以上述第1面呈铅直 状态的方式保持上述光罩用基板时，对于上述第1组的各边上的任一 点，上述第1组的边一的点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向 的距离相同。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光罩用基板，其中，以上述 第1面呈铅直状态的方式保持上述光罩用基板时，上述第1组的各边 的中点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向的距离与上述第1距 离相同。

5.如权利要求1至3中任一项所述的光罩用基板，其中，以上述 第1面呈铅直状态的方式保持上述光罩用基板时，上述第1组的各边 的中点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向的距离短于上述第1 距离。

6.如权利要求1所述的光罩用基板，其中，以上述第1面呈铅直 状态的方式保持上述光罩用基板时，对于上述第2组的各边上的任一 点，上述第2组的边上的点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向 的距离相同。

7.如权利要求1～3、6中任一项所述的光罩用基板，其具备用以 辨别上述第1面与上述第2面的标记。

8.如权利要求1～3、6中任一项所述的光罩用基板，其中，上述 基板由石英玻璃构成。

9.一种光罩，是使用权利要求1至8中任一项所述的光罩用基板 制作的光罩，其特征在于：

在上述第1面形成有光罩图案；

在上述支持部被曝光装置支持以便从上述第2面侧投射曝光用 光。

10.一种曝光方法，是使形成于权利要求9所述的光罩的光罩图 案曝光于晶片上的曝光方法，其特征在于：

从上述光罩的与形成有光罩图案的面相反侧的面投射曝光用光， 以上述形成有光罩图案的面朝向上述晶片侧的方式，在上述支持部被 曝光装置的光罩支持构件所支持的状态下进行曝光。

11.一种光罩用基板的成形构件，是对板状构件进行成形以形成 光罩用基板的成形构件，其特征在于：

具备用以对上述板状构件进行成形的成形面，上述成形面呈由连 续曲面构成的、相对向的一对第1组的边、及以连结上述第1组的边 的方式延伸的相对向的一对第2组的边所构成的四边形；

以连结上述第1组的各边的中点的直线及连结上述第2组的各边 的中点的直线的交点作为上述成形面的中心点；

将与上述中心点处的上述成形面的切平面平行的参照平面，定义 在上述成形面的前侧时，上述成形面的中心点与上述参照平面之间的 沿着上述切平面的法线方向的第1距离，短于上述第2组的各边的中 点与上述参照平面之间的沿着上述法线方向的第2距离。

12.如权利要求11所述的光罩用基板的成形构件，其中，在上述 第2组的各边中，该边的上述第1组的边侧的部分与上述参照平面之 间的沿着上述法线方向的距离短于上述第2距离。