[发明专利]将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施

权利要求书

1.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载于盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的装置，所述路径包括：(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c)用来将润滑剂蒸汽沉积到硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间，所述路径布置为至少一次将盒子转动大约90°。

2.根据权利要求1的设施，其中真空装载锁和真空卸载锁中的至少一个是布置为将盒子转动90°的路径的一部分。

3.根据权利要求2的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀，装载锁布置为使得多个盒子能同时处于第一和第二阀之间，卸载锁布置为使得多个盒子能同时处于第三和第四阀之间。

4.根据权利要求3的设施，其中所述路径包括多个处理模块，这些处理模块布置为将润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。

5.根据权利要求4的设施，其中所述路径包括在装载锁的第二阀与第一个处理模块之间的多个缓冲模块，所述多个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块中。

6.根据权利要求2的设施，其中装载和卸载锁都布置为将盒子转动大约90°。

7.根据权利要求2的设施，其中装载锁布置为将盒子转动大约90°。

8.根据权利要求2的设施，其中卸载锁布置为将盒子转动大约90°。

9.根据权利要求1的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，所述路径还包括在装载锁的第二阀和处理模块之间的多个缓冲模块，所述多个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块中。

10.根据权利要求1的设施，其中所述路径包括多个处理模块，所述处理模块布置为将润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。

11.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括：(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c)多个真空处理模块，其布置为将润滑剂蒸汽基本上同时沉积到最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上，所述多个处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间。

12.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括：(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c)用来将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间；装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀；装载锁和卸载锁中的至少一个布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。

13.根据权利要求12的设施，其中装载和卸载锁都布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。

14.根据权利要求12的设施，其中装载锁布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。

15.根据权利要求12的设施，其中卸载锁布置为使得多个盒子能同时处于其阀之间。

16.根据权利要求12的设施，其中所述路径还包括在装载锁的出口区域与处理模块之间的缓冲区域，所述缓冲区域布置为使得多个盒子能同时处于该缓冲区域中。