[发明专利]将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施

说明书

技术领域

本发明通常涉及将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，并且更具体地，涉及这样一种设施，其包括由承载将要用源自蒸汽的润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子所横过的路径，其中所述路径具有至少一个90°转弯。本发明的又一方面涉及将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上的设施，其中所述设施包括在真空环境中基本上同时将润滑剂涂层沉积在多个硬磁盘上的布置。本发明的另一方面涉及将润滑剂涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和/或卸载真空锁中。本发明的附加方面涉及将润滑剂涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载真空锁和用来将蒸汽润滑剂涂层沉积在硬磁盘上的模块之间的缓冲地带中。本发明的另一个方面涉及将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，其中这个段落中前面阐明的特点结合起来。

背景技术

Hughes等的美国专利6,183,831(通过参考结合于此)公开了一种通过在真空环境中将蒸汽(也就是，气态的)形式的润滑剂施加至硬磁盘的磁性层来用润滑剂薄膜涂覆硬磁盘用的设施。润滑剂优选地是如美国专利5,776,577中公开的全氟聚醚(PFPE)。硬磁盘装载入分别经由装载锁和卸载锁输送进出真空环境的盒子。真空环境包括其中单个磁盘用润滑剂蒸汽涂覆的单个处理腔室。在单个加工间隔期间，磁盘在两侧上被涂覆。单个处理腔室包括将硬磁盘从盒子提升入处理腔室的一部分中的提升叶片，盘在该部分中暴露至润滑剂蒸汽。在涂覆操作已经完成之后，提升叶片将硬磁盘返回至硬磁盘最初由此提升的盒子。单个磁盘在其中用润滑剂蒸汽涂覆的单个处理腔室处于12站圆盘传送器喷涂工具的下游。在特定盒子中的所有磁盘都已经用润滑剂涂覆之后，盒子穿过卸载门进入卸载锁，以完成处理。

Hughes等的专利中描述的前述布置令人满意，但是仍能改进。Hughes等的专利中描述的设施的整个处理速度以及空间台面面积分别能增大和降低。另外，存在着希望将润滑剂薄膜沉积到硬磁盘上的设施是与形成完整硬磁盘的设施的其它部分分开的单独单元的情况。

发明内容

本发明包括几个特点，每个包括用来将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上的设施。所述设施包括用于将盒子传送穿过包括真空装载锁和真空卸载锁的路径的布置。所述路径还包括处于真空装载和卸载锁之间并且将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真空处理模块，其中沉积的润滑剂蒸汽在硬磁盘上形成润滑剂涂层。

根据一个特点，所述路径布置为将盒子转动大约90°至少一次并且优选地两次。优选地，真空装载和卸载锁都将盒子转动大约90°，以有助于提供具有较小台面面积的设施，不过将理解到，仅装载或卸载锁能如此布置或转动布置能处于路径中别的地方。

根据另一个特点，所述路径包括多个真空处理模块，它们用来将润滑剂蒸汽基本上同时地沉积到最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。通过基本上同时地将润滑剂沉积到多个硬磁盘上，生产率相对较高。

另一个特点在于，装载和卸载锁中的至少一个布置为使得多个盒子能同时处于其入口和出口区域之间。优选地，装载和卸载锁都布置为使得多个盒子能同时处于其入口和出口区域之间，以有助于增大生产率。然而，将理解到，仅装载或卸载锁能如此布置。

另一个特点在于，路径具有处于装载锁的出口区域和处理模块之间的缓冲区域，其中缓冲区域布置为使得多个盒子能同时处于其中。使得多个盒子能同时处于其中的缓冲区域有助于增大生产率。

优选地，为了提供较高的生产率和较小的台面面积，设施是如此的以使得缓冲区域布置为使得两个且不多于两个的盒子能同时处于其中，并且装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第一和第二阀，而卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀。装载锁布置为使得两个盒子能同时处于第一和第二阀之间，并且卸载锁布置为使得两个盒子能同时处于第三和第四阀之间。真空装载和卸载锁布置为将盒子转动大约90°。该设施包括布置为将润滑剂蒸汽同时沉积到两个硬磁盘上的两个处理模块。