[发明专利]用于减量系统的有效操作的方法与装置

权利要求书

1.一种操作电子器件制造系统的方法，包含：

利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及

响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于燃料流量。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于试剂流量。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于冷却剂流量。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于有害或无法接受的无效减量的情形。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的温度。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述减量工具的压力。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述信息关于所述接收流出物与减量原料的至少其中一者的减量工具，其中所述接收产生有害或无法接受的无效减量的情形。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述接口使所述工艺工具与所述减量工具关闭。

10.一种操作电子器件制造系统的方法，包含：

利用接口接收信息，其中所述信息关于电子器件工艺工具；以及

响应于所述信息将减量工具设成闲置模式。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述信息还与所述电子器件工艺工具是否正产生流出物相关。

12.如权利要求10所述的方法，其中所述接口从用以量测流出物流量的传感器接收所述信息。

13.如权利要求10所述的方法，其中所述信息包含所述电子器件工艺工具的操作排程表。

14.如权利要求10所述的方法，其中所述接口从用以量测流出物组成的传感器接收所述信息。

15.一种电子器件制造系统，包含：

电子器件制造工艺工具；

减量工具，用以减少来自所述电子器件制造工艺工具的流出物；

减量原料供应部，用以提供减量原料至所述减量工具；

传感器，用以量测流至所述减量工具的减量原料的流量及所述减量工具的操作参数的至少其中一者；以及

接口，用以接收来自所述流量传感器的信息，其中所述信息包含所述减量原料的流速。

16.如权利要求15所述的电子器件制造系统，还包含警告组件。

17.如权利要求15所述的电子器件制造系统，其中所述电子器件制造工艺工具由所述接口关闭。

18.如权利要求15所述的电子器件制造系统，其中所述传感器用以量测所述减量工具内的温度、压力、火焰的存在及电功率的至少其中一者。

19.如权利要求15所述的电子器件制造系统，其中所述传感器用以量测所述减量原料的流量。