[发明专利]用于减量系统的有效操作的方法与装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子器件制造系统，更具体地，涉及用于减量系统的有效操作的方法与装置。

背景技术

电子器件制造工艺工具(此后以“工艺工具”代表)传统上采用腔室或其它适于进行工艺(例如化学气相沉积、外延硅生长与蚀刻等)的合适设备来制造电子器件。该些工艺可能产生流出物，而流出物则含有不利、有害且/或危险的作为工艺副产物的化学物质。现有的电子器件制造系统可使用减量设备以处理或减少流出物。

传统减量工具与工艺采用各种原料(例如燃料、试剂、水与电力等)以处理流出物。该些减量工具通常在其所处理的流出物的极少的信息下进行操作。据此，传统减量工具未最佳地(sub-optimally)使用原料。未最佳地使用原料可能成为制造设备中不利的成本负担。此外，未最佳使用原料的减量工具则可能更需经常维修。

据此，仍待开发出经改良的用以减量流出物的方法与设备。

发明内容

本发明的第一方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中该信息与减量系统相关；以及响应于该信息关闭工艺工具及减量工具。

本发明的第二方面，提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中该信息关于电子器件工艺工具；以及响应于该信息将减量工具设成闲置模式。

本发明的第三方面，提供一种电子器件制造系统，其包含：(1)电子器件制造工艺工具；(2)减量工具，用以减少来自该电子器件制造工艺工具的流出物；(3)原料供应部，用以将原料提供至该减量工具；(4)传感器，用以量测流至该减量工具的原料流量和该减量工具的操作参数的至少其中之一；以及(5)接口，用以接收来自该流量传感器的信息，其中该信息包含该原料的流速。

依据本发明上述或其它方面，可得到其它多个方面。依据下述的实施方式、权利要求书与所附图示，可使本发明其它特征与方面更为清楚。

附图说明

图1是绘示依照本发明的具有电子器件制造工具、泵、接口与减量系统的电子器件制造系统的示意图。

图2是绘示依照本发明的实施例的操作电子器件制造系统的方法的流程图。

图3是绘示依照本发明的实施例的操作电子器件制造系统的第二种方法的流程图。

具体实施方式

如上所述，减量工具通常在流出物信息极少的情形下进行操作，其中该流出物由工艺工具所产生。就此而论，减量工具通常可在能使减量工具降低最坏情况(worst-case)流出物负载的单一模式下(下文称作“最坏情况模式”)进行操作。然而，来自工艺工具的流出物流量，并非为相同化学物质成份的恒定流量。反之，随着化学物质成分的改变，流出物流量可具有零流出物流量至最坏情况流出物流量的范围。以单一、最坏情况模式操作减量系统的净效应可能浪费了含有燃料、试剂及/或冷却媒的减量原料。本发明则提出前述与其它缺点。

在一个实施例中，本发明提供一种减量工具，其可依据来自工艺工具的性质与流出物流速，在不同模式下进行操作。因此，举例而言，当工艺工具产生大量流出物流量时，减量工具可以“高速模式(high mode)”操作；当工艺工具产生中等流出物流量时，减量工具可以“中速模式(medium mode)”操作；及当工艺工具产生少量流出物流量时，减量工具可以“低速模式(low mode)”操作。此外，若工艺工具并未产生流出物，则减量工具可以“闲置模式(idle mode)”操作。当需要用较少的减料原料来降低实际的流出物流量时，依据实际流速与从工艺工具流出的流出物的特性来选择操作模式，则可使用较少的减量原料。

在部份实施例中，减量工具的操作模式可依据在任意特定时间下，所预知来自工艺工具的流出物特性与流速而进行选择。前述预知可为在工艺工具的处理腔室中所进行的已知工艺的排程表或模式的形式。当知道工艺的次数与类型时，则可预测流出物的量与性质。

在其它实施例中，减量工具的操作模式可依据流出物构成与流速的实时(real-time)量测来进行选择。

尽管依据本发明，减量工具可在依流出物的流速及/或化学组成所选择的模式下进行操作，以最佳化的使用减量原料，但减量工具也可能急需减量原料，例如燃料、试剂及/或冷却媒。