[发明专利]电路基板和显示装置有效
| 申请号： | 200880018540.5 | 申请日： | 2008-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101681931A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 森胁弘幸 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 路基 显示装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电路基板，其在基板上设置有从基板侧起叠层第一栅极电极、第一栅极绝缘膜和第一半导体层的底栅型薄膜晶体管，和从基板侧起叠层第二半导体层、第二栅极绝缘膜和第二栅极电极的第一顶栅型薄膜晶体管，该电路基板的特征在于：
该电路基板在基板与第一顶栅型薄膜晶体管的第二半导体层之间具有2个以上的绝缘膜，
该2个以上的绝缘膜包括：配置在基板与底栅型薄膜晶体管的第一栅极电极之间的底涂膜、和底栅型薄膜晶体管的第一栅极绝缘膜，
所述底涂膜包括氮化硅，
所述底栅型薄膜晶体管的第一栅极绝缘膜包括氧化硅，
在所述电路基板中，底栅型薄膜晶体管的第一栅极绝缘膜与第一顶栅型薄膜晶体管的第二栅极绝缘膜的膜厚不同。
2.如权利要求1所述的电路基板，其特征在于：
在所述电路基板中，底栅型薄膜晶体管的第一栅极绝缘膜的膜厚大于第一顶栅型薄膜晶体管的第二栅极绝缘膜的膜厚。
3.如权利要求1所述的电路基板，其特征在于：
在所述电路基板中，在与底栅型薄膜晶体管重叠的区域设置有第二顶栅型薄膜晶体管，所述电路基板具有由底栅型薄膜晶体管和第二顶栅型薄膜晶体管构成的双栅型薄膜晶体管。
4.一种显示装置，其特征在于，包括：
权利要求1～3中任一项所述的电路基板。
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