[发明专利]正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其至少包含：

(A)树脂、以及

(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，

其中所述树脂含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成 单元，以及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，

所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生 解离时该树脂变得可溶于碱，

其中R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基；

R²和R³各自独立地表示氢原子、直链或支链烷基、或环烷基， 条件是R²和R³中至少一者表示直链或支链烷基、或环烷基；

R⁴表示可被取代的直链或支链烷基、可被取代的环烷基、或可 被取代的芳烷基；并且

R²或R³可以与R⁴连接而形成环醚，

所述的具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元 是具有1，3-环氧丙烷基的构成单元，或者是通过使用下式(4)所示 的自由基聚合性单体而形成的构成单元，

其中X表示二价有机基团，为-COO-；

R⁷表示氢原子、甲基或卤素原子；

R¹¹和R¹²各自独立地表示氢原子或烷基；并且

n为1至10的整数，

所述化合物(B)为含有下式(2)所示的肟磺酸酯基的化合物：

其中R⁵表示可被取代的直链或支链烷基、可被取代的环烷基、 或可被取代的芳基。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，

其中，所述组分(B)为下式(3)所表示的化合物：

其中R⁵的含义与式(2)中的R⁵相同；

X₁表示直链或支链烷基、烷氧基、或卤素原子；

m表示0至3的整数；并且

当m表示2或3时，各X相互之间可以相同或不同。

3.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，

其中所述的具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成 单元是通过使用丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯或甲基丙烯酸3，4-环氧环 己基甲酯而形成的构成单元。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的正型感光性树脂组合 物，其还包含：(C)粘附助剂。

5.一种形成固化膜的方法，包括下列步骤：

将权利要求1所述的正型感光性树脂组合物涂敷在衬底上并干 燥，以形成涂层；

透过掩模使用光化射线或放射线对所述涂层进行曝光；

用碱性显影剂对曝光后的涂层进行显影，以形成图案；以及

对所获得的图案进行热处理。

6.根据权利要求5所述的形成固化膜的方法，还包括下列步骤：

在所述的使用碱性显影剂对曝光后的涂层进行显影以形成图案 的步骤之后、而在所述的对所获得的图案进行热处理的步骤之前，对 所获得的图案的整个表面进行曝光。