[发明专利]正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法有效
申请号: | 200880018735.X | 申请日: | 2008-06-05 |
公开(公告)号: | CN101681110A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 泷田敏 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/004;C08F220/28;H01L21/027 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁业平;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 以及 使用 形成 固化 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成 固化膜的方法。更具体地说,本发明涉及一种适用于形成电子元件的 平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组合物、以及使用 该组合物形成固化膜的方法,所述电子元件例如有液晶显示装置、集 成电路装置、固态成像装置和有机电致发光装置。
背景技术
以往,在诸如液晶显示装置、集成电路装置、固态成像装置和有 机电致发光装置之类的电子元件中,当形成平坦膜(其用于赋予电子 元件的表面以平坦性)、保护膜(其用于防止电子元件的劣化或损伤) 或层间绝缘膜(其用于保持绝缘性)时,通常使用感光性树脂组合物。 例如,在制造TFT型液晶显示装置时,通过在玻璃衬底上设置偏光 板、在其上形成诸如ITO之类的透明导电电路层以及薄膜晶体管 (TFT)、并涂覆层间绝缘膜,由此来形成背板;通过在玻璃衬底上 设置偏光板,根据需要,可以形成黑底层的图案和滤色器层的图案, 并且进一步依次形成透明导电电路层和层间绝缘膜,由此来形成顶 板;在将背板和顶板隔着隔板而对向设置之后,将液晶封装在这两板 之间。在该方法中,要求在形成层间绝缘膜时所使用的感光性树脂组 合物具有优异的感光度、残膜率(residual film ratio)、耐热性、粘 附性和透明性。此外,还要求感光性树脂组合物在贮藏时具有优异的 经时稳定性。
关于感光性树脂组合物,例如,专利文献1提出了这样的感光性 树脂组合物:其含有(A)可溶于碱性水溶液中的树脂(其为以下物 质的聚合物:(a)不饱和羧酸或不饱和酸酐、(b)具有环氧基的自 由基聚合性化合物、以及(c)其他的自由基聚合性化合物)和(B) 生成辐射敏感性酸的化合物,另外,专利文献2提出了这样的感光性 树脂组合物,其包含:碱溶性的丙烯酸系聚合物粘结剂、含有重氮醌 基团的化合物、交联剂、以及光生酸剂(photo-acid generator)。然 而,这些感光性树脂组合物在感光度、未曝光区域的残膜率、分辨率 和经时稳定性方面均不够充分,因此不能满足高质量液晶显示装置的 制造。专利文献3提出了这样的正型化学增幅抗蚀剂组合物,其含有 交联剂、产酸剂、以及具有保护基团(其在酸的作用下能够断裂)的 树脂,其中所述树脂本身不溶或难溶于碱性水溶液中,但是当所述保 护基团断裂之后,所述树脂可溶于碱性水溶液中。但是,它的粘附性 或透光度不够充分,并且不能满足高质量液晶显示装置的制造。专利 文献4提出了这样的辐射敏感性树脂组合物,其包含产酸剂和树脂 (该树脂具有缩醛结构和/或缩酮结构、以及环氧基),但是其感光 度低从而不令人满意。
专利文献1:JP-A-5-165214
专利文献2:JP-A-10-153854
专利文献3:JP-A-2004-4669
专利文献4:JP-A-2004-264623
发明内容
发明待解决的问题
本发明的目的是提供一种具有优异的感光度、残膜率以及储存 稳定性的正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成固化膜的方 法,它们是这样的正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成固化 膜的方法,当该组合物被固化时,确保能够获得具有优异的耐热性、 粘附性和透光度等的固化膜。
解决问题的手段
本发明人为了达到上述目的进行了深入研究,从而完成了本发 明。
本发明如下。
(1)一种正型感光性树脂组合物,其至少包含:
(A)树脂、以及(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够 产生酸的化合物,
所述树脂含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元, 以及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元,
所述树脂不溶于碱或难溶于碱,并且当所述酸解离性基团发生 解离时该树脂变得可溶于碱;
其中R1表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基;
R2和R3各自独立地表示氢原子、直链或支链烷基、或环烷基, 条件是R2和R3中至少一者表示直链或支链烷基、或环烷基;
R4表示可被取代的直链或支链烷基、可被取代的环烷基、或可 被取代的芳烷基;并且
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