[发明专利]脉冲源的多路复用

权利要求书

1.一种通过输出孔(5)生成输出辐射的方法，所述方法包括：

-由多个辐射源(11-14，20)生成脉冲辐射，每个源被设置为分别

(i)在对应的等离子体(211)内生成对应的脉冲基本辐射，

其波长包括对应的期望范围；

(ii)将其对应的基本辐射的射线引导至所述输出孔(5)上；

-对于每个源，在对应的基本辐射所通过且位于对应的等离子体(211)内的对应控制区域内分布射线的折射率，以根据波长选择性地偏移所述对应的基本辐射的射线；以及

-时间复用所述辐射源，以在所述输出孔(5)处获得所述输出辐射。

2.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，进一步包括检测所述辐射源(11-14，20)之一的故障，以及用取代故障源的备用源生成基本辐射。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，进一步包括测量所述输出辐射的功率，以及根据对所述输出辐射的功率的测量控制所述时间复用。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述脉冲辐射的生成包括通过工作源一个接一个地生成基本辐射；以及如果所述工作源生成的输出辐射小于最小阈值，则通过至少一个辅助源生成至少一个基本辐射。

5.根据前述权利要求中的任一项权利要求所述的方法，其特征在于，多个基本辐射同时生成以创建期望的辐射图样(24，25，26)。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，进一步包括随着时间对期望图样的动态修改。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，对于所述辐射源中的至少一个(14)，对辐射图样的动态修改包括对将所述辐射源生成的射线反射至所述输出孔的至少一个反射镜(23)的角位进行修改。

8.根据前述权利要求中的任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述输出辐射的平均频率大于每个辐射源的最大频率。

9.一种通过输出孔(5)生成输出辐射的设备，所述设备包括：

-多个辐射源(11-14，20)，每个源包括用于生成对应的脉冲基本辐射的装置，所述对应的脉冲基本辐射的波长包括对应的期望范围，每个源被设置为将其对应的基本辐射的射线引导至所述输出孔(5)上，每个源包括对应的等离子体和偏移装置(212，2121，2122)，在所述对应的等离子体中生成对应的基本辐射，所述偏移装置(212，2121，2122)包括对对应的基本辐射所通过的且位于对应的等离子体内的对应控制区域内的射线的折射率的受控分布进行设置的装置，以根据波长选择性地偏移所述对应的基本辐射的射线；以及

-时间复用器，时间复用所述辐射源，以在所述输出孔处获得所述输出辐射。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，进一步包括对所述脉冲源中的至少一个的故障进行检测的装置，所述多个辐射源包括备用组，所述备用组包括被设置为取代至少一个故障源来生成辐射的至少一个备用源。

11.根据权利要求9或10所述的设备，其特征在于，进一步包括对所述输出辐射的功率进行测量的装置，以及根据对所述输出辐射的功率测量来控制所述时间复用器的装置。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述多个辐射源包括：

-工作组，包括被设置为一个接一个地生成辐射的源；以及

-辅助源，包括被设置为在所述工作组生成的输出辐射的功率小于最小阈值的情况下生成辐射的至少一个辅助源。

13.根据权利要求9至12中任一项权利要求所述的设备，其特征在于，所述时间复用器被设置为控制多于一个的源同时生成辐射以创建期望的辐射图样。

14.根据权利要求13所述的设备，其特征在于，进一步包括用于动态修改所述辐射图样的装置。

15.根据权利要求13或14所述的设备，其特征在于，对于所述辐射源的至少一个，所述设备包括将所述源生成的射线反射至所述输出孔的至少一个对应的反射镜(13)。

16.根据权利要求9至14中的任一项权利要求所述的设备，其特征在于，所述辐射源中的至少一个被设置为生成其射线到达所述输出孔(5)并且不是从所述辐射源反射至所述输出孔的基本辐射。