[发明专利]检查装置、检查方法和程序

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

台，所述台用于放置样品，所述样品具有形成在表面上的图案；

物镜，所述物镜观察所述图案；

照明光学系统，所述照明光学系统包括光源和偏光器，从所述光 源选择任意波长区域，并且经由所述偏光器和所述物镜落射照明所述 样品；

检测光学系统，所述检测光学系统包括具有与所述偏光器的偏振 方向交叉的偏振面的检偏器，经由所述物镜和所述检偏器检测来自所 述样品的光，并且基于所述光获得样品表面的傅立叶图像；

成像部，所述成像部成像所述傅立叶图像；

分析部，所述分析部执行计算处理，以在所述傅立叶图像中确定 显著区域，所述显著区域相比于其他区域受所述图案的状态的影响更 大，所述分析部基于多个所述傅立叶图像，为图像内的每一位置计算 在多个所述傅立叶图像之间发生的阶调的差，并且进一步从所述阶调 的差的幅度确定所述显著区域，其中所述傅立叶图像每个都具有所述 图案的不同曝光条件。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中

所述成像部生成所述傅立叶图像的颜色数据，并且

所述分析部计算对于所述傅立叶图像的每一颜色分量的所述阶调 的差，并且基于所述颜色分量的一个的数据而确定所述显著区域。

3.一种检查装置，包括：

台，所述台用于放置样品，所述样品具有形成在表面上的图案；

物镜，所述物镜观察所述图案；

照明光学系统，所述照明光学系统包括光源和偏光器，从所述光 源选择任意波长区域，并且经由所述偏光器和所述物镜落射照明所述 样品；

检测光学系统，所述检测光学系统包括具有与所述偏光器的偏振 方向交叉的偏振面的检偏器，经由所述物镜和所述检偏器检测来自所 述样品的光，并且基于所述光获得样品表面的傅立叶图像；

成像部，所述成像部成像所述傅立叶图像；

分析部，所述分析部执行计算处理，以在所述傅立叶图像中确定 显著区域，所述显著区域相比于其他区域受所述图案的状态的影响更 大；

数据输入部，所述数据输入部接收与所述傅立叶图像对应的所述 图案的线宽数据，其中

所述分析部基于多个所述傅立叶图像，为图像内的每一位置计算 在所述傅立叶图像的阶调值和所述图案的线宽之间的改变率，并且基 于所述改变率的值确定所述显著区域，其中所述傅立叶图像每个都具 有所述图案的不同曝光条件。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其中

所述成像部生成所述傅立叶图像的颜色数据，并且

所述分析部计算对于所述傅立叶图像的每一颜色分量的所述改变 率，并且基于所述颜色分量的一个的数据而确定所述显著区域。

5.根据权利要求3所述的检查装置，其中

所述分析部进一步为图像内的每一位置计算所述线宽的相关误 差，并且基于所述改变率的值和所述相关误差而确定所述显著区域。

6.根据权利要求1或者3所述的检查装置，其中

所述分析部基于与所述显著区域对应的所述傅立叶图像的数据而 执行确定和检测中的至少之一，所述确定确定所述样品中的所述图案 是良好还是有缺陷，并且所述检测检测所述图案的改变。

7.根据权利要求3所述的检查装置，其中

所述分析部在计算所述改变率时确定用于将所述阶调值转换成所 述线宽的近似，并且基于所述近似从所述傅立叶图像估计所述线宽。