[发明专利]低k介电材料

权利要求书

1.一种流体胶态溶液，含有：

二氧化硅源；

极性溶剂；

水；

酸催化剂；和

两性嵌段共聚物表面活性剂。

2.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其含有有机酸。

3.如权利要求2所述的流体胶态溶液，其中所述有机酸是柠檬酸。

4.如权利要求2所述的流体胶态溶液，其中所述有机酸是方酸。

5.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其含有反应性溶剂。

6.如权利要求5所述的流体胶态溶液，其中所述反应性溶剂是环氧 丙烷。

7.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述极性溶剂是乙醇。

8.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述极性溶剂是乙腈。

9.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述两性嵌段共聚物是 Pluronic P104。

10.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述二氧化硅源是单 独的原硅酸酯或与烷基化的原硅酸酯混合。

11.如权利要求10所述的流体胶态溶液，其中所述原硅酸酯是 TEOS。

12.如权利要求10所述的流体胶态溶液，其中所述烷基化的原硅酸 酯选自MTES或VTES。

13.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述二氧化硅源是聚 硅氧烷。

14.如权利要求13所述的流体胶态溶液，其中所述聚硅氧烷是乙氧 基-末端的聚(二甲基硅氧烷)。

15.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其含有有效的共溶剂。

16.如权利要求15所述的流体胶态溶液，其中所述共溶剂是乳酸乙 酯。

17.如权利要求15所述的流体胶态溶液，其中所述共溶剂是2，2-乙 氧基(乙氧基乙醇)。

18.如权利要求15所述的流体胶态溶液，其中所述共溶剂是2，2-乙 氧基(乙氧基乙醇)乙酸酯。

19.如权利要求15所述的流体胶态溶液，其中所述共溶剂是二丙二 醇单甲醚。

20.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其中所述酸催化剂是强酸 催化剂。

21.如权利要求1所述的流体胶态溶液，其含有改善固化的膜与基 底粘合的粘合促进剂。

22.如权利要求21所述的流体胶态溶液，其中所述粘合促进剂是硅 烷偶联剂。

23.如权利要求21所述的流体胶态溶液，其中所述基底是铜、硅、 氮化硅或碳化硅。

24.如权利要求15所述的流体胶态溶液，其在环境保存温度下的保 质期为至少6个月。

25.一种通过将权利要求15所述的胶态溶液通过旋涂、浸涂、拉涂、 喷涂或喷墨印刷在基底上形成的膜。

26.如权利要求25所述的膜，其中所述基底是硅晶片。

27.一种如权利要求25所述并已在130-150℃下软烘烤的膜。

28.一种如权利要求27所述并已在140℃下软烘烤的膜。

29.一种如权利要求28所述并在退火之前可以保存4小时至无限期 而不会使退火膜的最终性能劣化的膜。

30.如权利要求25所述的膜，其中所述膜与等离子体处理兼容。

31.如权利要求25所述的膜，其中所述膜对于环境中的水分不敏感。

32.如权利要求25所述的膜，其中所述膜能够抵抗灰化造成的损坏。