[发明专利]树脂基底

说明书

技术领域

[0001]

本发明涉及用于电子设备领域并且具有优异的水蒸汽阻隔性质的树脂基底。

背景技术

[0002]

液晶显示器元件(LCD：液晶显示器)已经被用于大尺寸显示，包括作为典型实例的平板电视，以及用于汽车导航系统或手提电话的中等或小尺寸显示器。作为能够实现清晰图像的显示器，还深入地研究了有机电致发光(OLED：有机发光二极管)显示器。

[0003]

已经用于这些LCD和OLED显示器中的玻璃基底在它们跌落时容易破碎。而且，为了满足降低重量和减小被安装在便携式器件中的LCD的厚度的要求，玻璃基底的厚度已经被减小。这样已经引起另外的问题，比如增加了玻璃基底在其生产过程中的破碎的风险，这样导致产品收率降低，操作性质降低和生产率降低。

[0004]

因而，已经尝试使用树脂基底的LCD和OLED显示器的生产。这些柔性显示器的驱动方法粗略地分为两种：容易实现规模生产的无源矩阵驱动法和适合于实现高清晰屏幕的有源矩阵驱动法。每一种方法的显示器都得到了积极的研究。

[0005]

同时，作为用于光伏发电元件的基底，使用硅晶片。光伏发电模件通过将硅晶片铺满设置在由必要电布线的一种或多种基材的一个表面上而制备。在硅晶片上形成作为表面层的半导体层具有发电的功能。然而，大部分的昂贵晶片仅被用作载体。因此，模件变得昂贵，重量增加，并且从资源利用的角度考虑，也存在问题。已经通过在玻璃基底或树脂基底上形成硅薄膜来研究具有同等效率的光伏发电元件的实现。预期树脂基底由于其耐冲击性和轻重量而是有优势的，然而发电效率比现阶段中的硅晶片产品的发电效率低。而且，使用树脂基底增加了设计的自由度，比如器件的形状等，这样使得能够满足各种需要。

[0006]

鉴于降低重量、耐冲击性等的目的，需要可以代替电子产品领域中的玻璃基底的树脂基底。膜基底由于其柔性和弯曲性质，在用作树脂基底时允许进行辊-对-辊的制备方法，由此还预期生产速度相比于已经被用于玻璃基底的单晶类型是显著改善的。

[0007]

在LCD领域，树脂基底所需要的性质之一是水蒸汽阻隔性质。据报导，例如，对于LCD，水蒸汽阻隔性质为不大于0.1g/m²/天，而对于OLED，进一步为其1/100,000以下。使用单一的树脂基底，不能够实现所需水蒸汽阻隔性质。因此，通过真空蒸汽沉积法、喷溅法或其它已有的膜形成方法，将薄阻隔膜沉积在树脂基底的表面上。日本公开专利公布号2004-292877(专利文献1)和日本公开专利公布号2005-342975(专利文献2)公开了通过催化化学气相沉积法(催化-CVD法)形成的氮化硅膜表现出作为阻隔薄膜的优异性质。

[0008]

在LCD领域中，树脂基底所需要的另一种性质是基底的表面平坦性。例如，在日本公开专利公布号2006-351523(专利文献3)中，将四层以上的具有单独功能的约5至20nm厚的极薄层层压以构成OLED显示器。因此，透明的电导膜作为底层的表面性质可能变成在生产过程期间的布线断裂或短路的原因，以及非均匀发光或缺陷的原因，以及由此影响器件可靠性。根据日本公开专利公布号2004-111201(专利文献4)的权利要求书，即使在玻璃基底的表面上，沉积在其上的透明导电膜的平均粗糙度(Ra)也优选为不大于1nm。

专利文献1：日本公开专利公布号2004-292877

专利文献2：日本公开专利公布号2005-342975

专利文献3：日本公开专利公布号2006-351523

专利文献4：日本公开专利公布号2004-111201

发明内容

本发明要解决的问题

[0009]

然而，在过去，还不能获得同时具有确保电子产品的长期可靠性所必需的水蒸汽阻隔性质以及优异表面平坦性(即，表面平滑性)的树脂基底。因此，本发明的一个目的是提供同时满足水蒸汽阻隔性质和表面平坦性的树脂基底。

解决问题的手段

[0010]

本发明涉及下列各项。

[0011]

1.一种树脂基底，其包括树脂层和形成在所述树脂层的表面上的表面层，其中

所述表面层是包含作为主要组分的氮化硅并且是通过化学气相沉积而沉积的层，并且