[发明专利]线圈部件的制造方法及线圈部件

权利要求书

1.一种由钨丝形成的线圈部件的制造方法，其特征在于，具备以下工 序：

将钨丝卷绕在芯棒周围的卷绕工序；

在卷绕工序后切断钨丝的第1切断工序；

以线圈卷绕在芯棒上的状态在还原气氛中进行热处理的退火工序；

热处理后从线圈中拔出芯棒的拔出工序，

所述卷绕工序具备一边对钨丝施加3kg/cm以上的反张力一边供给钨丝 的工序，并且具备以300～1000rpm的旋转速度将钨丝卷绕在芯棒周围的工 序，

所述线圈部件的外径D1与所述芯棒的外径D2的比即D1/D2在1.2～ 1.5的范围内。

2.根据权利要求1所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：在所述 拔出工序后进行切断线圈部件的第2切断工序。

3.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：将 所述钨丝的线径规定为1mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所 述钨丝中按氧化物换算计含有0.4～3质量％的钍。

5.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：在 所述卷绕工序之前具备对所述钨丝进行加热的工序。

6.根据权利要求5所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：以燃烧 火焰进行对所述钨丝进行加热的工序。

7.根据权利要求6所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所述燃 烧火焰是使燃烧性气体燃烧而形成的火焰。

8.根据权利要求7所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所述燃 烧性气体是与大气混合的混合气体。

9.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：实 施所述退火工序的还原性气氛是氢气气氛。

10.根据权利要求9所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所述氢 气向气氛中的供给量为700标准升/小时以上。

11.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所 述退火工序中的热处理温度为1000～1500℃。

12.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于： 所述退火工序中的热处理时间为5～30分钟。

13.根据权利要求2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于：所述第 2切断工序是将固定夹具插入到线圈部件的中空部、并通过使切具相对于固 定夹具向正交方向移动来切断线圈部件的工序。

14.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法，其特征在于： 所述线圈部件是磁控管用直热式阴极部件。

15.一种由线径为1mm以下的钨丝形成的线圈部件，其特征在于：所 述线圈部件通过权利要求1的线圈部件的制造方法得到，在将平均外径规 定为D1时，外径的偏差在D1±0.1mm的范围内，其中D1的单位为mm。

16.根据权利要求15所述的线圈部件，其特征在于：所述钨丝的线径 在0.7mm以下。

17.根据权利要求15或16所述的线圈部件，其特征在于：所述外径 的偏差在D1±0.05mm的范围内。

18.根据权利要求15或16所述的线圈部件，其特征在于：所述钨丝 按氧化物换算计含有0.4～3质量％的钍。

19.根据权利要求15或16所述的线圈部件，其特征在于：所述线圈 部件的长度在10mm以上。

20.根据权利要求15或16所述的线圈部件，其特征在于：所述线圈 部件是磁控管用直热式阴极部件。

21.根据权利要求15或16所述的线圈部件，其特征在于：所述钨丝 的表面部的晶粒的平均纵横比低于3，而且中心部的晶粒的平均纵横比在3 以上。

22.根据权利要求21所述的线圈部件，其特征在于：构成所述钨丝的 钨的平均晶粒粒径在6μm以下。