[发明专利]线圈部件的制造方法及线圈部件有效
申请号: | 200880023684.X | 申请日: | 2008-04-02 |
公开(公告)号: | CN101687247A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 秋元俊之;馆泽正博;中野康彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝高新材料公司 |
主分类号: | B21F3/04 | 分类号: | B21F3/04;B21F11/00;H01J9/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 周 欣;陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线圈 部件 制造 方法 | ||
1.一种由钨丝形成的线圈部件的制造方法,其特征在于,具备以下工 序:
将钨丝卷绕在芯棒周围的卷绕工序;
在卷绕工序后切断钨丝的第1切断工序;
以线圈卷绕在芯棒上的状态在还原气氛中进行热处理的退火工序;
热处理后从线圈中拔出芯棒的拔出工序,
所述卷绕工序具备一边对钨丝施加3kg/cm以上的反张力一边供给钨丝 的工序,并且具备以300~1000rpm的旋转速度将钨丝卷绕在芯棒周围的工 序,
所述线圈部件的外径D1与所述芯棒的外径D2的比即D1/D2在1.2~ 1.5的范围内。
2.根据权利要求1所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:在所述 拔出工序后进行切断线圈部件的第2切断工序。
3.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:将 所述钨丝的线径规定为1mm以下。
4.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所 述钨丝中按氧化物换算计含有0.4~3质量%的钍。
5.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:在 所述卷绕工序之前具备对所述钨丝进行加热的工序。
6.根据权利要求5所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:以燃烧 火焰进行对所述钨丝进行加热的工序。
7.根据权利要求6所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所述燃 烧火焰是使燃烧性气体燃烧而形成的火焰。
8.根据权利要求7所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所述燃 烧性气体是与大气混合的混合气体。
9.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:实 施所述退火工序的还原性气氛是氢气气氛。
10.根据权利要求9所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所述氢 气向气氛中的供给量为700标准升/小时以上。
11.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所 述退火工序中的热处理温度为1000~1500℃。
12.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于: 所述退火工序中的热处理时间为5~30分钟。
13.根据权利要求2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于:所述第 2切断工序是将固定夹具插入到线圈部件的中空部、并通过使切具相对于固 定夹具向正交方向移动来切断线圈部件的工序。
14.根据权利要求1或2所述的线圈部件的制造方法,其特征在于: 所述线圈部件是磁控管用直热式阴极部件。
15.一种由线径为1mm以下的钨丝形成的线圈部件,其特征在于:所 述线圈部件通过权利要求1的线圈部件的制造方法得到,在将平均外径规 定为D1时,外径的偏差在D1±0.1mm的范围内,其中D1的单位为mm。
16.根据权利要求15所述的线圈部件,其特征在于:所述钨丝的线径 在0.7mm以下。
17.根据权利要求15或16所述的线圈部件,其特征在于:所述外径 的偏差在D1±0.05mm的范围内。
18.根据权利要求15或16所述的线圈部件,其特征在于:所述钨丝 按氧化物换算计含有0.4~3质量%的钍。
19.根据权利要求15或16所述的线圈部件,其特征在于:所述线圈 部件的长度在10mm以上。
20.根据权利要求15或16所述的线圈部件,其特征在于:所述线圈 部件是磁控管用直热式阴极部件。
21.根据权利要求15或16所述的线圈部件,其特征在于:所述钨丝 的表面部的晶粒的平均纵横比低于3,而且中心部的晶粒的平均纵横比在3 以上。
22.根据权利要求21所述的线圈部件,其特征在于:构成所述钨丝的 钨的平均晶粒粒径在6μm以下。
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