[发明专利]线圈部件的制造方法及线圈部件

说明书

技术领域

本发明涉及磁控管用直热式阴极(filament cathode)部件等中使用的线 圈部件及其制造方法，特别涉及能够防止线圈部件的断线、且形状精度高、 可大幅度提高制造成品率的线圈部件及其制造方法。

背景技术

从以往，作为磁控管用直热式阴极部件一直使用钨等高熔点金属丝(线 材)。磁控管已被用于微波炉等，例如具有日本特开平6-5197号公报(专利 文献1)中记载的结构。如专利文献1中所述，磁控管用直热式阴极部件是 将高熔点金属丝等成形为线圈形状的线圈部件。

通过对钨棒进行拉丝加工将制造线圈部件之前的钨丝形成为直径为 1mm以下、进一步为0.7mm以下的细丝。在拉丝加工时，为了不使丝断线， 例如在日本特开平11-86800号公报(专利文献2)中通过在丝上涂布润滑 剂来降低与拉丝模的摩擦力。这样，现状是钨丝因应力而容易断线，因而 必须采取某种对策。

此外，要将钨丝成形成线圈形状，如专利文献2中所述，一般采用将 丝卷绕在芯棒上成形成螺旋状的卷绕方法。在专利文献2中，通过使上述 卷绕工序机械化来提高线圈部件的批量生产性。作为上述卷绕工序中使用 的卷绕装置的一例子，可例示出日本特开平7-14558号公报(专利文献3) 中记载的卷绕装置。也就是说，在专利文献3中，从线材卷轴供给钨丝， 卷绕在芯棒上进行卷绕，通过将得到的线圈切断成所需要的长度来制造线 圈部件。报告了通过采用专利文献3这样的卷绕装置来大幅度提高批量生 产性。

但是，在用上述以往的制造装置制造的线圈部件中，制造出来的线圈 部件的外径偏差大，每种制品或每批存在着特性偏差大、制品品质不稳定 的缺陷。而且，因钨丝本身的刚性(弹性)强，如果只简单地将丝材卷绕 在芯棒上，则还存在不能稳定地得到目标形状的问题。

此外，为了改善这种不适合情况，还试验了一边对钨丝施加强的应力 一边卷绕，但出现容易发生钨丝断线、线圈部件的制造成品率容易下降的 问题。

专利文献1：日本特开平6-5197号公报

专利文献2：日本特开平11-86800号公报

专利文献3：日本特开平7-14558号公报

发明内容

本发明是为解决上述以往的问题而完成的，其目的在于提供一种线圈 部件及其制造方法，在采用了钨丝的线圈部件的制造方法中，可抑制线圈 形状偏差及钨丝断线，能够大幅度提高线圈部件的成品率，而且线圈部件 的外径偏差减小，特性均匀。

为了达到上述目的，本发明的线圈部件的制造方法是由钨丝形成的线 圈部件的制造方法，其特征在于，具备以下工序：将钨丝卷绕在芯棒周围 的卷绕工序、在卷绕工序后切断钨丝的第1切断工序、以线圈卷绕在芯棒 上的状态在还原气氛中进行热处理的退火工序、热处理后从线圈中拔出芯 棒的拔出工序。

根据上述制造方法，由于以卷绕在芯棒周围的状态切断钨丝，另一方 面以将线圈卷绕在芯棒上的状态在还原气氛中进行热处理，因而可通过芯 棒保持线圈部件的形状，从而可得到变形小、尺寸精度高的线圈部件。

此外，在上述线圈部件的制造方法中，优选在所述拔出工序后进行切 断线圈部件的第2切断工序。通过在连续地卷绕1根钨丝形成长尺寸的线 圈部件后，按所要求的长度(制品长度L)切断，能够高效率地制造尺寸精 度均匀的多个线圈部件。

另外，在上述线圈部件的制造方法中，优选将所述钨丝的线径规定为 1mm以下。通过将丝的线径规定为1mm以下，丝的刚性降低，容易加工成 线圈。此外，可降低发生在丝内部的应力，在制造工序中能够得到断线少 的线圈部件。