[发明专利]用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备

权利要求书

1.一种用于支撑加工用的基板的容器，包括：

底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板；

设置在所述容器中的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板，所述支撑结构具有横贯所述容器的宽度延伸的多行多个拉伸构件，每行的所述多个拉伸构件均构造成支撑一个基板，

其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜，所述柔性膜的支撑结构具有用于使所述柔性膜与加工工具的容置模块的门同步移动的同步机构。

2.如权利要求1所述的容器，进一步包括：

自所述底部或所述顶部中的一个延伸的竖直支撑构件，所述多个拉伸构件的端部附接于所述竖直支撑构件，其中，所述竖直支撑构件位于所述容器的内部区域内。

3.如权利要求2所述的容器，进一步包括：

传送构件，所述传送构件具有设置在所述内部区域的外部的外部支撑件和附接到所述外部支撑件的内部支撑件，所述内部支撑件横贯所述容器的宽度延伸。

4.如权利要求3所述的容器，其中，所述传送构件是能够沿所述容器的高度移动的。

5.如权利要求1所述的容器，其中，所述底部是使得能够进入所述容器的柔性膜。

6.如权利要求1所述的容器，其中，所述柔性膜的两端连接至刚性支撑件，每个所述刚性支撑件的端部均附连至所述同步机构。

7.如权利要求6所述的容器，进一步包括：

第一和第二皮带，所述第一和第二皮带的端部附接到第一和第二刚性支撑件的对应的端部。

8.如权利要求1所述的容器，其中，所述同步机构包括用于自所述容置模块的门延伸的销的容置口。

9.如权利要求1所述的容器，其中，所述容器包括附接到一个所述侧板的风扇和过滤器组件。

10.如权利要求1所述的容器，其中，所述柔性膜具有延伸穿过所述柔性膜的槽口，所述槽口实现基板进出所述容器的通道。

11.如权利要求1所述的容器，进一步包括：

横贯所述容器的边缘延伸的辊子，其中，所述辊子在所述柔性膜移动时引导所述柔性膜。

12.如权利要求1所述的容器，其中，所述拉伸构件是沿各个所述拉伸构件的顶面具有孔口的中空构件。

13.如权利要求1所述的容器，其中，所述底部包括横贯所述容器的宽度延伸的多个开口，所述多个开口具有打开和关闭进入所述开口的通道的可移动门。

14.一种用于输送基板的系统，包括：

用于支撑加工用的基板的容器，所述容器包括底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板，所述容器进一步包括设置在所述容器中的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板，所述支撑结构具有横贯所述容器的宽度延伸的多行多个拉伸构件，每行的所述多个拉伸构件均构造成支撑一个基板，其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜；以及

基板传送站，其构造成经由通过所述柔性膜获得的进入区域达到所述基板。

15.如权利要求14所述的系统，其中，所述底部是另一个可移动的柔性膜。

16.如权利要求14所述的系统，其中，所述基板传送站设置于所述容器下方。

17.如权利要求16所述的系统，其中，所述底部包括多个具有使得能够进入所述容器的可移动门的开口；并且，所述基板传送站包括与对应的所述开口对齐的多个柱，所述多个柱构造成自所述拉伸构件提升所述基板。

18.如权利要求17所述的系统，其中，所述多个柱具有顶面，所述顶面包括辊子、皮带或空气轴承中的一个。

19.如权利要求16所述的系统，其中，所述基板传送站固定在适当位置，并且所述容器以可移动的方式设置在所述基板传送站上方。

20.如权利要求14所述的系统，其中，所述基板传送站包括具有可延伸元件的传送机器人，所述可延伸元件构造成经由通过所述柔性膜获得的通道进入所述容器。