[发明专利]用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备

说明书

技术领域

本文所讨论的本发明大体公开了一种用于储存和搬运工件的隔离系统。更具体地，提供一种当工件在加工工厂中四处移动时保护工件的容器。

背景技术

因为在不断进步，所以提高用于制造平板显示器(FPD)的液晶显示器的质量和制造产量是不断挑战的过程。大的宽屏电视机已经变得越来越受欢迎使得面板尺寸显著增大，增加这种挑战。为了获得最高品质的图像，FPD制造商必需要测试所有的面板同时缩短测试时间并提高质量和产量。颗粒物污染所引起的对玻璃面板的损坏使得大面积FPD的产量不够高。随着面板尺寸增大而式样的维度减少，这个问题已经变得更加严重。

为了提高平板显示器在加工工厂内的产量和质量，本文所描述的实施方式提供了一种构造成隔离和保护封装好的FPD免受颗粒物污染的线盒。

发明内容

一般地说，本发明通过提供用于输送大面积基板的方法和设备来满足这些需求。应当了解的是，本发明能够以包括方法、系统或设备在内的多种方式实现。下面描述本发明的几个创造性的实施方式。

在一个实施方式中，提供了一种用于支撑加工用的基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。支撑结构设置在容器中。该支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。用于柔性膜的支撑结构包括用于柔性膜与加工工具的接收模块的同步移动的同步机构。

在另一个实施方式中，提供了一种用于运输基板的系统。该系统包括用于支撑加工用的基板的容器。容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器进一步包括设置在容器中的支撑结构。支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。该系统包括构造成经由通过柔性膜获得的通路达到基板的基板传送站。

在又一个实施方式中，提供了一种用于支撑半导体加工基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器中设置有支撑结构。支撑机构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有由横贯容器宽度延伸的多个拉伸构件构造而成的成行和列布置的阵列。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。该容器包括横贯其中一个侧板的边缘延伸的旋转构件，该旋转构件在移动过程中引导柔性膜。

从以下结合作为本发明的原理的示例示出的附图进行的详细描述中，本发明的其它方面和优点将变得清楚明白。

附图说明

从以下结合作为本发明的原理的示例示出的附图进行的详细描述中，本发明的各个方面将变得清楚明白。

图1是示出了根据本发明一个实施方式的平板显示器制造商用的示例性布局的高视角图的简化示意图；

图2是示出了根据本发明一个实施方式的可使用本文描述的容器的制造环境的立体图的简化示意图；

图3是示出根据本发明一个实施方式的具有外壳的容器的简化示意图；

图4是示出根据本发明一个实施方式的图3的容器去除盖的简化示意图；

图5是根据本发明一个实施方式的图4的不带盖的容器的后视图；

图6是示出根据本发明一个实施方式的又称为工具小环境(toolmini-enviroment)的盒式隔离站的简化示意图；

图7示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站前面的容器的简化示意图；

图8A到8F示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站和容器之间的同步门的对接(docking)和打开；

图9A到9C示出根据本发明一个实施方式的用于容器的替代性实施方式的简化示意图；

图10示出容器，容器中设置有单膜门并且面板传送器末端效应器自容器底部进入；

图11示出前部中具有打开的单膜门且内部具有面板传送桨叶(paddle)的容器；

图12是示出根据本发明一个实施方式的用于容器的单膜门的简化示意图，其中，面板传送桨叶容置在容器内部，同时容器通过外部装置竖直上升；

图13A示出具有单膜门和容置在容器内的面板传送桨叶的容器；

图13B是图13A的实施方式的替代性实施方式，其中提升卷筒是独立的；

图13C-1和13C-2是示出根据本发明一个实施方式的用于线盒和桨叶传送单元的支撑框架的简化示意图；

图14是示出膜门中具有槽口的容器的简化示意图，其中，面板从槽口中自容器移出；