[发明专利]处理装置及具有处理装置的洁净系统

权利要求书

1.一种处理装置，该处理装置与具有供给洁净空气的送风装置和地板面 的房间共同利用，其特征在于，其具有可容纳所述洁净空气的装置主体和台， 该台支撑所述装置主体，具有在与所述地板面之间气密地围住可通气的空间的 结构，所述台具有：与所述空间连通的进风口，将已通过所述装置主体的所述 洁净空气经由所述进风口导入到所述空间的吸引风扇。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，还具有：与所述台气 密地结合，且构成为使导入到所述空间的所述洁净空气向所述送风装置回流的 回流管道。

3.一种洁净系统，其特征在于，具有：

具有围住腔室的天棚和地板面的房间；

与所述腔室连通，净化所述腔室内的空气并供给洁净空气的送风装置；

配置成可容纳所述洁净空气的装置主体；

台；该台支撑所述装置主体，是构成为在与所述地板面之间气密地围住可 通气的空间的台，所述台具有：与所述空间连通的进风口，将已通过所述装置 主体的所述洁净空气经由所述进风口导入到所述空间的吸引风扇；

应连通所述空间和所述腔室、气密地结合所述台及所述天棚的回流管道。