[发明专利]用于控制或调节真空阀的方法

权利要求书

1.一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：

-带有阀开孔(2)的阀体(1)；

-关闭件(3)，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之 间移位经过关闭路径(s)，且在关闭位置封闭阀开孔(2)，其中至 少一个弹性的密封件(4)压靠到密封面(35)上；

-用于使得关闭件(3)移位的促动器(5)；和

-控制装置(9)，通过该控制装置可控制促动器(5)，

其特征在于，考虑关闭路径(s)的在弹性的密封件(4)到达密 封面(35)时的到达点(p)和/或关闭件(3)的此时存在的速度(v)， 作为用于控制装置(9)的决定性的参数。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)根 据至少一个参数或至少一个变量来调节关闭件(3)的速度(v)，关 闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)针 对弹性的密封件(4)的不同的材料，将关闭件(3)的速度(v)调 节至不同的值，关闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)。

4.如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，由控制装置(9) 针对不同的过程气体，将关闭件(3)的速度(v)调节至不同的值， 关闭件(3)以该速度(v)到达到达点(p)，弹性的密封件(4)与 所述过程气体接触。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)实 施至少一个宣导-关闭过程，在该过程中，检测被考虑用于控制或调 节真空阀的参数的至少一个值。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)至 少一次地检测在关闭路径(s)内的到达点(p)，弹性的密封件(4) 在该到达点(p)时到达密封面(35)。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)对 到达点(p)的每一个检测到的值与极限值进行比较。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，根据比较的结果且 当由于密封件(4)受到增大的磨损致使到达点(p)超过了极限值时， 由控制装置(9)输出维护信号。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，由控制装置(9)， 通过对在真空阀关闭情况下到达点(p)到达时所在的时间的确定， 来检测促动器的效率和将促动器(5)的运动传递到关闭件(3)上的 传动件的效率，如果确定效率太低，则输出维护信号。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，弹性的密封件(4) 到达密封面(35)时的到达点(p)从关于关闭路径(s)的变化曲线 中求得，该变化曲线反映了向促动器(5)输送工作介质的情况。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，到达点(p)从向 用电工作的促动器(5)输送的电流的电流强度(I)关于关闭件(3) 的关闭路径(s)的变化曲线中求得。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在关闭真空阀时， 使得整个关闭路径(s)所需要的时间的至少20％用于关闭路径(s) 的后部分，关闭路径的后部分为从到达点(p)至关闭位置的路径的 长度的两倍。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在关闭真空阀时， 使得整个关闭路径(s)所需要的时间的至少40％用于关闭路径(s) 的后部分，关闭路径的后部分为从到达点(p)至关闭位置的路径的 长度的两倍。