[发明专利]用于控制或调节真空阀的方法

说明书

本发明涉及一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括： 

-带有阀开孔的阀体； 

-关闭件，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径，且在关闭位置封闭阀开孔，其中至少一个弹性的密封件压靠到密封面上； 

-用于使得关闭件移位的促动器；和 

-控制装置，通过该控制装置可控制促动器。 

已知有用于真空阀的控制装置，这些控制装置控制用于使得关闭件打开和关闭的促动器，其中为了激活促动器，给该促动器输送相应的工作介质，大多数情况下输送压缩空气。在此已知有自动打开和自动关闭的阀，对于这种阀而言，当工作介质撤除时，通过弹簧件来保持关闭件的打开位置或关闭位置。除了气动驱动的真空阀外，还已知有电驱动的真空阀。同样已知的是，给控制装置输送关于阀状态的不同的输入信号，以便实现安全功能，也就是说，在真空系统的一定的状态下，防止或引起真空阀的打开或关闭。 

由US 7,036,794B2已知一种用于控制真空阀的方法，其中，作用到弹性密封件上的压紧力由控制装置根据两个真空腔之间的差压的求取值来调节，在所述两个真空腔之间设有真空阀。由此可以减小弹性密封件的磨损。 

本发明的目的是，对开头部分所述类型的真空阀控制或调节方案加以改进。根据本发明，该目的通过一种用于控制或调节真空阀的方法得以实现，该真空阀包括： 

-带有阀开孔的阀体； 

-关闭件，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径，且在关闭位置封闭阀开孔，其中至少一个弹性的密封件压靠到密封面上； 

-用于使得关闭件移位的促动器；和 

-控制装置，通过该控制装置可控制促动器， 

其中考虑关闭路径的在弹性的密封件到达密封面时的到达位置p 和/或关闭件的此时存在的速度，作为用于控制装置的决定性的参数。 

本发明基于如下构思：可以考虑弹性密封件到达密封面时的到达位置和/或此时存在的关闭件速度，来改善利用控制装置对真空阀的控制或调节。 

如果在本文献范围内谈及“控制装置”，则用该概念来涵盖所有如下的特别是电子的装置，即这些装置能够根据包括至少一个调节回路的开路控制或调节或者其组合来执行控制过程。 

根据本发明的一种有利的实施方式，由控制装置来调节关闭件的速度，关闭件以该速度到达到达位置。在这里，关闭件的速度被相应地控制或优选被调节。在到达位置时关闭件的速度可以有利地由控制装置根据至少一个用于控制或调节的输入参数调节至不同的值。所述输入参数在此可以是可输入到控制装置中的参数，或者是由控制装置自动检测的参数，或者是被自动检测的变量。可手动输入的和可自动检测的参数的组合也是可考虑的和可行的。 

例如，可以由控制装置根据(所输入的或所检测的)弹性密封件的材料将弹性密封件到达密封面时的速度调节至不同的值。到达速度被视为弹性密封件的重要的负荷参数，其中对于足够长的寿命来说，针对不同的密封材料允许存在大小不同的到达速度。另一方面，针对最大的真空阀节拍周期，希望到达速度尽可能大。在使用由不同材料构成的弹性密封件时，采用本发明可以优化这些要求。 

例如，所使用的过程气体的类型可以作为将到达速度调节至不同值所依据的其它参数，在其中装有真空阀的真空设备上实施过程时，弹性密封件与所述过程气体接触。因而在侵蚀性的过程气体情况下可以减小到达速度，以便实现所希望的寿命。 

通过对关闭件的在到达位置时的速度的控制或调节，也可以优化不同于密封件的其它部件例如促动器或关闭机构(其是将促动器的运动传递到关闭件上的传动件)的磨损。 

根据本发明的另一或附加的方面，可以有控制装置至少一次地例如在系统刚投入工作时优选重复地在关闭路径内或者在真空阀关闭时所完成的全行程内检测到达位置的当前值。由此单独地或组合地得到不同的控制或调节方案，这些方案在下面说明。 

通过对到达位置的每一个当前值的重复检测，可以使得每次检测的到达位置值与弹性密封件的磨损相关联。由此在密封件磨损增大的情况下，到达位置越来越远离在真空阀关闭时由促动器执行的行程的起始位置移动。如果超过了极限值，则可以由控制装置输出特别是光学的和/或声音的维护信号，该维护信号表明，应更换弹性密封件。

例如也可考虑且可行的是，将已有的密封件磨损考虑作为用于控制或调节在弹性密封件到达密封面时所在的到达位置处的关闭件速度的变量。