[发明专利]压印方法和使用压印方法的基板的处理方法

权利要求书

1.一种用于将模具的图案压印到基板上的树脂材料上的压印方 法，所述压印方法包括：

通过使模具与形成在基板上的树脂材料相接触以使得树脂材料的 一部分从其中形成有与模具的图案相对应的压印图案的第一处理区域 挤出到形成在第一处理区域周边的外侧区域中而形成第一处理区域和 外侧区域的步骤；

在第一处理区域上形成用于保护第一处理区域的第一保护层的步 骤；和

在第一处理区域中的树脂材料层上形成的压印图案受第一保护层 保护从而不被去除的同时，去除外侧区域中的树脂材料层的步骤，

其中，在形成第一保护层的所述步骤中，在第一处理区域和外侧 区域之间的边界处形成的外侧区域中的树脂材料层的侧壁被用作边界 壁。

2.根据权利要求1的压印方法，其中，第一保护层由从由硅基材 料、含硅的树脂材料、绝缘膜和金属材料构成的组中选择的材料形成。

3.一种使用根据权利要求1的压印方法的基板的处理方法，包括：

在去除外侧区域中的树脂材料层的所述步骤之后去除第一保护层 的步骤；和

在去除第一保护层的所述步骤之后，以在第一处理区域中的树脂 材料层上形成的压印图案的凸起作为掩模来蚀刻基板的步骤。

4.一种使用根据权利要求1的压印方法的基板的处理方法，包括：

在去除外侧区域中的树脂材料层的所述步骤之后，去除第一保护 层直到露出在第一处理区域中的树脂材料层上形成的压印图案的凸起 的步骤；和

以第一保护层作为掩模来蚀刻基板的步骤。

5.一种压印方法，在所述压印方法中，多次重复通过将模具的图 案压印到基板上的树脂材料上来形成图案的步骤，所述压印方法包括：

通过实施根据权利要求1的压印方法而第一次形成图案的步骤； 和

通过包含以下步骤的步骤而第二次形成图案的步骤：通过使模具 与在包含外侧区域并与第一处理区域相邻的区域中形成的树脂材料相 接触而形成第二处理区域的步骤、在第二处理区域中的树脂材料层上 形成用于保护第二处理区域的第二保护层的步骤、以及在第一处理区 域和第二处理区域中形成的图案受第一保护层和第二保护层保护从而 不被去除的同时去除第二处理区域周边的过量树脂材料的步骤，

其中，在形成第二保护层的所述步骤中，在第二处理区域和第二 处理区域周边的外侧区域之间的边界处形成的第二处理区域周边的外 侧区域中的树脂材料层的侧壁被用作边界壁。

6.根据权利要求5的压印方法，其中，在第一次形成图案的所述 步骤中，当关于第一方向和与第一方向垂直的第二方向中的至少一个 在第一处理区域中形成多个处理区域时，所述多个处理区域中的相邻 处理区域之间的间隔是每个处理区域的宽度之长的整数倍。

7.根据权利要求6的压印方法，其中，每个处理区域的宽度之长 包含与调整量相对应的长度，所述调整量包含模具的处理误差以及基 板与模具之间的对准误差。

8.根据权利要求6的压印方法，其中，形成图案的所述步骤被重 复三次，以及

其中，所述压印方法还包括：

形成处理区域中的每一个，使得关于第一方向在第一处理区域中 形成的所述多个处理区域的相邻处理区域之间的间隔为第一处理区域 的宽度之长的两倍、并且关于第二方向的处理区域被形成为彼此不接 触的步骤；和

在第二次形成图案的所述步骤之后，在与第二处理区域相邻的区 域中形成第三处理区域的步骤。

9.根据权利要求5的压印方法，其中，当形成图案的步骤被多次 重复时，分别在形成图案的这些步骤中使用不同的模具。

10.一种用于处理基板的处理方法，包括：

执行根据权利要求5的压印方法以在基板上的树脂材料上形成图 案的步骤；和

通过使用所述图案作为掩模来处理基板的步骤。