[发明专利]等离子体灭菌装置和方法

权利要求书

1.一种等离子体灭菌装置，其特征在于，包括：

能收容作为灭菌对象物的长条状细管，并且能调整内部压 力的容器；

以及配置在该长条状细管的至少一端部的电极，

通过在将该长条状细管的内部或外部的压力调整成使得在 该长条状细管的内部和外部具有长条状细管的内部压力是 100Pa～10000Pa、且长条状细管的外部压力为该内部压力的5分 之1以下状态下对该电极施加频率是1kHz～100kHz、电压是 1kV～10kV的交流电压，从而在该长条状细管内生成等离子体。

2.根据权利要求1所述的等离子体灭菌装置，其特征在于， 与配置在该一端部的电极相对应的另一电极是配置在该长条状 细管的另一端部的电极或该容器的壁面。

3.根据权利要求2所述的等离子体灭菌装置，其特征在于， 在配置在该长条状细管的端部的电极上形成有导通长条状细管 内外的通孔。

4.根据权利要求3所述的等离子体灭菌装置，其特征在于， 为了使气体能够经由形成在上述配置于该长条状细管的端部的 电极上的通孔流入该长条状细管内或自该长条状细管内流出， 气体供给部件或气体排出部件的至少一方与该通孔连接。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的等离子体灭菌装置， 其特征在于，用于调整该容器内的压力的部件与该容器连接。

6.根据权利要求5所述的等离子体灭菌装置，其特征在于， 具有设置于该容器内的高频用天线，通过对该天线施加高频电 压而在该容器内生成等离子体。

7.根据权利要求6所述的等离子体灭菌装置，其特征在于， 能够同时进行对上述配置于该长条状细管的端部的电极施加交 流电压和对该天线施加高频电压。

8.一种等离子体灭菌方法，其特征在于，将电极配置在作 为灭菌对象物的长条状细管的至少一端部，通过在将该长条状 细管的内部或外部的压力调整成使得在该长条状细管的内部和 外部具有长条状细管的内部压力是100Pa～10000Pa、且长条状 细管的外部压力为该内部压力的5分之1以下的状态下对该电极 施加频率是1kHz～100kHz、电压是1kV～10kV的交流电压，从而 在该长条状细管内生成等离子体。

9.根据权利要求8所述的等离子体灭菌方法，其特征在于， 与在该长条状细管内生成等离子体的同时或生成等离子体的前 后，通过对高频用天线施加高频电压而在该长条状细管的外部 生成其他的等离子体。

10.根据权利要求8或9所述的等离子体灭菌方法，其特征 在于，施加于该电极的交流电压具有将具有规定频率的交流波 形和比具有该频率的交流波形周期长的脉冲波形合成而成的合 成波形，通过调整该脉冲波形的on期间和off期间，使得等离子 体的生成时间能够改变，从而使灭菌对象物的表面温度的上升 被抑制，上述on期间是上述脉冲波形成为最大值的期间，上述 off期间是上述脉冲波形成为最小值的期间。

11.根据权利要求8或9所述的等离子体灭菌方法，其特征 在于，该长条状细管由树脂形成，内径是5mm以下、长度是10cm 以上。

12.根据权利要求11所述的等离子体灭菌方法，其特征在 于，该长条状细管的至少一部分在灭菌处理时呈旋涡状卷绕。

13.根据权利要求8或9所述的等离子体灭菌方法，其特征 在于，将含有氧气或水蒸气的气体导入该长条状细管的至少内 部。

14.根据权利要求8或9所述的等离子体灭菌方法，其特征 在于，该长条状细管被收容在防止细菌、病毒侵入的树脂制的 袋子中。