[发明专利]非接触式测量系统

说明书

技术领域

根据权利要求1的前序部分，本发明涉及一种非接触式测量系统，该非接触式测量系统包括至少一个测试探针，该测试探针形成用于对信号波导上所传输的信号进行非接触式解耦的耦合结构部分，其中，该信号波导被配置为电路的电路板上的导电线和一部分电路。根据权利要求17的前序部分，本发明还涉及一种用于非接触式测量系统的校准基板，该非接触式测量系统包括至少一个测试探针，该测试探针形成用于对信号波导上所传输的信号进行非接触式解耦的耦合结构部分，其中，所述校准基板上设置有至少一个校准元件，特别地，短路标准件、开路标准件、电阻标准件或导体标准件，其中，所述至少一个校准元件电连接至所述至少一个信号波导，特别地，微带传输线或共面波导。 

背景技术

从例如T.Zelder，H.Eul，″Contactless network analysis withimproved dynamic range using diversity calibration″，Proceedingsof the 36^th European Microwave Conference，Manchester，UK，pages 478 to 481，September 2006或者T.Zelder，H.Rabe，H.Eul，″Contactless electromagnetic measuring system usingconventional calibration algorithms to determine scatteringparameters″，Advances in Radio Science-KleinheubacherBerichte 2006，vol.5，2007中已知，通过非接触式矢量网络分析来确定嵌入在复杂电路内的电组件的散射参数。与传统的触点回跳(contact-bound)网络分析方法相比，利用非接触式近场测 量探针替代网络分析器的内定向耦合器，其中这些非接触式近场测量探针直接连接至该分析器的矢量测量点。这些测量探针位于被测量对象的信号线之上。这些探针可以对共面导体的电磁场起到电感和/或电容的作用。为了测量散射参数，使用了传统的校准方法，诸如用于触点回跳网络分析的方法。 

在非接触式矢量网络分析中，对于作为未知测试对象(被测试的装置-DUT)的每个测量端口，需要至少一个测量探针，例如，导体环或两个电容式探针。从例如F.De Groote，J.Verspecht，C.Tsironis，D.Barataud and J.-P.Teyssier，″An improvedcoupling method for time domain load-pull measurements″，European Microwave Conference，vol.1，pages 4 ff.，October2005中已知，使用由同轴半刚性线制成的非接触式导体环。相反，从T.Zelder，H.Eul，″Contactless network analysis withimproved dynamic range using diversity calibration″，Proceedingsof the 36^th European Microwave Conference，Manchester，UK，pages 478 to 481，September 2006或者T.Zelder，H.Rabe，H.Eul，″Contactless electromagnetic measuring system usingconventional calibration algorithms to determine scatteringparameters″，Advances in Radio Science-KleinheubacherBerichte 2006，vol.5，2007中已知，在非接触式测量系统中专门使用电容式探针。从T.Zelder，I.Rolfes，H.Eul，″Contactlessvector network analysis using diversity calibration withcapacitive and inductive coupled probes″，Advances in RadioScience-Kleinheubacher Berichte 2006，vol.5，2007 and J.Stenarson，K.Yhland，C.Wingqvist，″An in-circuit noncontactingmeasurement method for S-parameters and power in planarcircuits″，IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques，vol.49，No.12，pages 2567 to 2572，December 2001中已知，利用电容式探针和电感式探针的组合来实现测量系统。