[发明专利]IC装载用基板及其制造方法有效
申请号: | 200880102275.9 | 申请日: | 2008-08-05 |
公开(公告)号: | CN101816068A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 田中宏德;河野秀一 | 申请(专利权)人: | 揖斐电株式会社 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L23/14;H01L23/15;H01L23/32;H05K3/46 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;陈立航 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ic 装载 用基板 及其 制造 方法 | ||
1.一种IC装载用基板,具备:
印刷电路板,其具有第一积层层,该第一积层层是由具有 第一导体电路的导体层和树脂绝缘层交替层叠而形成;
低弹性树脂层,其形成于该印刷电路板的一面侧中的位于 上述第一积层层中的最外层的导体层上以及树脂绝缘层上;
低热膨胀性基板,其形成在该低弹性树脂层上且由陶瓷或 者硅构成;
通孔导体,其贯通上述低热膨胀性基板以及上述低弹性树 脂层;以及
第二导体电路,其形成于上述低热膨胀性基板的一面侧,
其中,上述通孔导体电连接位于上述第一积层层中的最外 层的导体层与上述低热膨胀性基板上的第二导体电路;
其中,上述低弹性树脂层由选自环氧树脂、酚醛树脂、包 含交联橡胶颗粒和固化催化剂的树脂组合剂所组成的组中的至 少一种构成,或者上述低弹性树脂层在30℃条件下的杨氏模量 为10MPa~1GPa。
2.根据权利要求1所述的IC装载用基板,其特征在于,
在上述低热膨胀性基板上以及该低热膨胀性基板上的一侧 面的第二导体电路上形成有第二积层层,该第二积层层是由具 有第三导体电路的导体层和层间树脂绝缘层交替层叠而形成。
3.根据权利要求2所述的IC装载用基板,其特征在于,
位于上述第二积层层中的最外层的导体层的间距比上述通 孔导体的间距窄。
4.根据权利要求2或3所述的IC装载用基板,其特征在于,
位于上述第二积层层中的最内层的导体层的间距与上述通 孔导体的间距大致相同。
5.根据权利要求1至3中的任一项所述的IC装载用基板,其 特征在于,
上述低热膨胀性基板的通孔导体的直径小于上述低热膨胀 性基板的第二导体电路中的导体焊盘的直径。
6.根据权利要求1所述的IC装载用基板,其特征在于,
上述低热膨胀性基板由硅构成。
7.根据权利要求1至3、6中的任一项所述的IC装载用基板, 其特征在于,
在上述低热膨胀性基板上设置有电感器L、电容器C、电阻 器R、电压调节模块VRM中的至少一个。
8.一种IC装载用基板的制造方法,包括以下a至f的工序:
a的工序,将低热膨胀性基板隔着低弹性树脂层层叠到在最 外层具有安装用导体焊盘的印刷电路板上;
b的工序,穿设第一贯通孔,该第一贯通孔为贯通上述低热 膨胀性基板以及上述低弹性树脂层而到达上述安装用导体焊盘 的贯通孔;
c的工序,对上述贯通孔内填充绝缘层;
d的工序,穿设第二贯通孔,该第二贯通孔为贯通上述贯通 孔内的绝缘层而到达上述安装用导体焊盘的贯通孔;
e的工序,通过在上述第二贯通孔内设置镀层来形成通孔导 体;以及
f的工序,在上述低热膨胀性基板上形成积层布线层;
其中,上述低弹性树脂层由选自环氧树脂、酚醛树脂、包 含交联橡胶颗粒和固化催化剂的树脂组合剂所组成的组中的至 少一种构成,或者上述低弹性树脂层在30℃条件下的杨氏模量 为10MPa~1GPa。
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