[发明专利]模块、配线板及模块的制造方法有效
申请号: | 200880102498.5 | 申请日: | 2008-10-03 |
公开(公告)号: | CN101828254A | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 伊藤彰二;中谷祐介;高见良;大凑忠则 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 雒运朴;李伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 模块 线板 制造 方法 | ||
1.一种具备在绝缘层的一个面上形成了导体的图案的配线板和在上述 导体上通过凸点面向下地被安装的功能元件的模块,其特征在于,具有:
开口部,其在上述配线板的安装了上述功能元件的位置上的、比上述 功能元件的投影面小且比上述凸点被接合到上述导体上的部位靠内侧的 区域上,沿着上述绝缘层的厚度方向被形成,
密封树脂,其利用设有多个吸引孔的吸附台的吸引来密封上述功能元 件及上述配线板间的间隙、上述开口部。
2.根据权利要求1所述的模块,其特征在于,
上述密封树脂具有从上述开口部向上述绝缘层的另一面突起、且扩展 到比上述开口部大的区域的部位。
3.一种配线板,在绝缘层的一个面上形成导体的图案,在上述导体上 面向下地安装功能元件,其特征在于,
在比上述功能元件的投影面小且比上述功能元件与上述导体电性接合 的部位靠内侧的区域上,沿着上述绝缘层的厚度方向形成开口部,
在上述功能元件的两侧和上述开口部处密封有由于设有多个吸引孔的 吸附台的吸引而被填充的密封树脂。
4.一种具备在绝缘层的一个面上形成导体图案的配线板和在上述导体 上通过凸点面向下地被安装的功能元件的模块的制造方法,在上述配线板 的安装了上述功能元件的位置的、比上述功能元件的投影面小且比上述凸 点被接合到上述导体上的部位靠内侧的区域上,沿着上述绝缘层的厚度方 向形成开口部,上述功能元件及上述配线板间的间隙、上述开口部通过密 封树脂密封,其特征在于,具有:
安装工序,在上述配线板的上述导体上通过上述凸点安装上述功能元 件;
树脂密封工序,通过设有多个吸引孔的吸附台的吸引来使上述密封树 脂密封上述功能元件及上述配线板间的间隙、上述开口部。
5.根据权利要求4所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述树脂密封工序中,以形成从上述开口部向上述绝缘层的另一面 突起且在上述绝缘层的另一面侧上扩展到比上述开口部大的区域的部位 的方式,注入上述密封树脂。
6.根据权利要求4所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述树脂密封工序中,从上述功能元件的至少一组对置的两侧注入 密封树脂。
7.根据权利要求4所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述树脂密封工序中,从上述开口部注入密封树脂。
8.根据权利要求6所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述树脂密封工序中,使上述绝缘层的另一面侧与上述绝缘层的一 面侧相比为负压,注入上述密封树脂。
9.根据权利要求7所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述树脂密封工序中,使上述绝缘层的一个面侧与上述绝缘层的另 一面侧相比为负压,注入上述密封树脂。
10.根据权利要求8所述的模块的制造方法,其特征在于,上述树脂 密封工序具有:
放置工序,以使上述配线板的另一面侧位于台侧的方式使上述配线板 放置在上述吸附台上;
固定工序,通过从上述吸引孔进行吸引,将上述配线板固定在上述吸 附台上;
填充工序,在被吸引的状态下,向上述功能元件的至少一组对置的两 侧涂敷上述密封树脂,用上述密封树脂填充上述功能元件及上述配线板间 的间隙和上述开口部。
11.根据权利要求10所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述台的与上述开口部对置的位置上,设置凹部。
12.根据权利要求9所述的模块的制造方法,其特征在于,上述树脂 密封工序具有:
放置工序,以上述功能元件位于台侧的方式,使上述配线板放置在上 述吸附台上;
固定工序,通过从上述吸引孔进行吸引,将上述配线板固定在上述吸 附台上;
填充工序,在被吸引的状态下,从上述开口部涂敷密封树脂,用上述 密封树脂填充上述功能元件及上述配线板间的间隙和上述开口部。
13.根据权利要求12所述的模块的制造方法,其特征在于,
在上述台的与上述功能元件对置的位置上设置凹部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社藤仓,未经株式会社藤仓许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880102498.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造