[发明专利]惯性力传感器

权利要求书

1.一种惯性力传感器，具备：振动型的角速度检测元件、对自所述角速度检测元件输出的输出信号进行处理的IC、经由防振部收纳所述角速度检测元件和所述IC的封装体，

所述防振部具有：载置层叠有所述角速度检测元件的所述IC的载置部、与所述载置部的外方分离而配置并且经由配线图案连接在所述载置部的外方部，

所述载置部被悬空保持，并通过所述外方部安装在所述封装体上，所述角速度检测元件或所述IC与所述配线图案电连接。

2.如权利要求1所述的惯性力传感器，其中，所述角速度检测元件的重心、所述IC的重心、以及所述载置部的重心相互配置在同一轴上。

3.如权利要求1所述的惯性力传感器，其中，所述角速度检测元件具有输入输出信号用的元件用电极焊盘，所述IC具有输入输出信号用的IC用电极焊盘，所述封装体具有与所述元件用电极焊盘或所述IC用电极焊盘连接的连接用电极焊盘，所述IC用电极焊盘配置在所述角速度检测元件的外方，所述元件用电极焊盘或所述IC用电极焊盘与所述配线图案电连接，所述元件用电极焊盘或所述IC用电极焊盘或所述配线图案与所述连接用电极焊盘电连接。

4.如权利要求1所述的惯性力传感器，其中，所述配线图案相对于所述载置部的中心为对称形状。

5.如权利要求1所述的惯性力传感器，其中，所述载置部及所述外方部用绝缘膜形成，所述配线图案粘接配置在所述绝缘膜上。

6.一种惯性力传感器，具备：角速度检测元件；防振部，其由载置部和外方部构成，所述载置部在上面悬空保持有所述角速度检测元件，所述外方部通过配线图案与所述载置部连接；对来自所述角速度检测元件的输出信号进行处理的IC；收纳所述角速度检测元件、所述防振部及所述IC的封装体，

在所述封装体的内底面设置有加速度检测部。

7.一种惯性力传感器，具备：角速度检测元件；防振部，其由载置部和外方部构成，所述载置部在上面悬空保持有所述角速度检测元件，所述外方部通过配线图案与所述载置部连接；对来自所述角速度检测元件的输出信号进行处理的IC；收纳所述角速度检测元件、所述防振部及所述IC的封装体，

在所述防振部的载置部的下面设置有加速度检测部。