[发明专利]惯性力传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于飞机、汽车、机器人、船舶、车辆等移动体的姿势控制及导航等各种电子设备的惯性力传感器。

背景技术

图9是现有的角速度传感器的分解立体图。图10是现有的角速度传感器的剖面图。图9、图10中，现有的角速度传感器具备：由音叉形状的振动子构成的振动型角速度检测元件2、对自该角速度检测元件2输出的输出信号进行处理的IC4、信号处理用的电容器6。这些角速度检测元件2、IC4和电容器6相互并列安装在壳体8上。而且，有盖10的壳体8被收纳在封装体12内且用罩14保护。

在该封装体12的内部形成有载置壳体8的载置部16。该载置部16经由具有S字状的弯曲部的端子18与封装体12连接。另外，具有S字状的弯曲部的端子18和角速度检测元件2及IC4，经由配置在壳体8上的电极焊盘20相互电连接，并经由该端子18进行信号的输入、输出。

使这种角速度传感器与要检测的检测轴相对应，并用于车辆等移动体的姿势控制装置及导航装置等。上述构成中，载置壳体8的载置部16经由具有S字状的弯曲部的端子18与封装体12连接。因而，能够抑制冲击等引起的向角速度传感器的干扰振动。另外，作为与本申请的发明相关连的现有技术文献信息，例如已知有专利文献1。

但是，由于配置在壳体8上的角速度检测元件2和IC4相互并列配置，所以，壳体8内的安装面积变大。另外，由于角速度检测元件2和端子18，IC4和端子18是经由壳体8的电极焊盘20进行电连接，所以，壳体8的电极焊盘20的配置数量也变多，难以实现壳体8的小型化。

专利文献1：国际公开第03/046479号小册子

发明内容

本发明提供一种惯性力传感器，其抑制干扰振动的同时，减小角速度检测元件和IC的安装面积，并且还可以减少用于信号的输入、输出的电极焊盘的配置数量，从而实现小型化。

本发明的惯性力传感器的防振部具有：载置层叠有角速度检测元件的IC的载置部、与载置部的外方分离而配置并且经由配线图案连接在载置部的外方部。载置部被悬空保持，并通过外方部安装在封装体上。另外，角速度检测元件或IC与配线图案电连接。

这样，由于是将角速度检测元件层叠在IC上，所以可减小相对于载置部的安装面积，从而实现小型化。另外，由于载置部被悬空保持，且通过经由配线图案连接于载置部的外方部安装在封装体上，所以，配线图案发挥防振功能的作用，吸收干扰振动。

另外，由于角速度检测元件或IC与配线图案电连接，所以减少了电连接部位，可实现小型化。

此外，能够确保可稳定地安装在IC上的安装面积，并且各个配线图案上承载的质量变大，所以，还可以提高配线图案的干扰振动的吸收率。即，可以抑制干扰振动，不会损失检测精度，从而可实现小型化。

附图说明

图1是本发明实施方式1的角速度传感器的分解立体图；

图2是本发明实施方式1的角速度传感器的防振部的俯视图；

图3是本发明实施方式1的角速度传感器的防振部的仰视图；

图4是收纳于封装体前的本发明实施方式1的角速度传感器的立体图；

图5是表示干扰振动的振动频率和振动传递率的关系的衰减特性图；

图6是本发明实施方式1的其它角速度传感器的分解立体图；

图7是本发明实施方式2的角速度传感器的侧向剖面图；

图8是本发明实施方式2的其它角速度传感器的分解立体图；

图9是现有角速度传感器的分解立体图；

图10是现有角速度传感器的剖面图。

符号说明

32、61角速度检测元件

33、55、66、71加速度检测部

34、67IC

36电容器

38、68封装体

40、63载置部

42、64配线图案

44、65外方部

46TAB带

47台阶部

48元件用电极焊盘

50IC用电极焊盘

52连接用电极焊盘

54接合线

62防振部

具体实施方式

(实施方式1)

图1是本发明实施方式1的角速度传感器的分解立体图。图2是本发明实施方式1的角速度传感器的防振部的俯视图。图3是本发明实施方式1的角速度传感器的防振部的仰视图。图4是收纳于封装体前的本发明实施方式1的角速度传感器的立体图。