[发明专利]光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导有效
| 申请号： | 200880107301.7 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101802667A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 牧野龙也;山口正利;高桥敦之 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 制造 方法 以及 得到 | ||
1.一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树 脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显 影液进行显影的工序，以及使用酸性水溶液进行洗涤的工序，其中，所述感光 性树脂组合物是含有（A）含羧基的碱可溶性（甲基）丙烯酸聚合物、（B）聚 合性化合物和（C）光聚合引发剂的树脂组合物。
2.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述酸性水溶液是含 有硫酸的水溶液。
3.如权利要求1或2所述的光波导的制造方法，其中，所述酸性水溶液 的pH为大于0且小于等于5。
4.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述碱性显影液是碱 性水溶液。
5.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述碱性显影液是由 碱性水溶液和1种以上的有机溶剂所形成的碱性准水系显影液。
6.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂层是 通过涂布感光性树脂组合物而形成的。
7.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂层是 层叠由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂膜而形成的。
8.如权利要求1所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂组合 物是含有具有羧基和酚性羟基中至少一种基团的化合物的树脂组合物。
9.由权利要求1～8任一项所述的制造方法所得到的光波导。
10.如权利要求9所述的光波导，其光传输损耗为0.3dB/cm以下。
11.如权利要求9或10所述的光波导，其在温度为85℃、湿度为85％的 高温高湿放置试验实施1000小时后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。
12.如权利要求9所述的光波导，其在温度为－55℃和125℃之间的温度循 环试验实施1000个循环后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。
13.如权利要求9所述的光波导，其在最高温度为265℃的回流试验实施 3次后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。
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