[发明专利]光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导

说明书

技术领域

本发明涉及光波导的制造方法以及光波导，特别涉及包括在基材上形成感 光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用碱性显影液进行显影的 工序的光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导。

背景技术

近年来，就电子元件间或配线基板间的高速·高密度信号传送来说，在通 过以往的电气配线进行的传送中，信号的相互干涉或衰减形成了障碍，并开始 显现出高速·高密度化的界限。为了打破该界限，人们研究了使用光来连接电 子元件或配线基板的技术，即所谓的光互连。作为光的传输通路，从加工容易 度、低成本、配线自由度高，并且可以高密度化的观点考虑，聚合物光波导正 受到关注。

作为聚合物光波导的形态，认为在假设应用于光电混载基板的玻璃环氧树 脂基板上制造的类型、或假设板相互连接的不具有硬支持基板的挠性类型是适 合。

作为简单并高精度形成光波导的方法之一，已知有通过曝光·显影形成芯 图案的方法。此处，曝光步骤是使光照射部分的感光性树脂三维交联而不溶解 的工序，显影步骤是使未曝光部分，即未反应部分的感光性树脂溶解在显影液 中而除去的工序。

以往，已知有使用有机溶剂作为显影液的方法(例如，参照专利文献1)， 并且从显影步骤的安全性和环境负荷的观点考虑，还提出了使用碱性显影液进 行显影的方法(例如，参照专利文献2和3)。

为了使碱显影步骤所适用的光波导形成材料，可溶于碱性显影液，在其中 导入了羧基、酚性羟基等显示酸性的官能基。因此，即使对于因曝光而不溶解 的芯图案，其酸性官能基也由于碱性显影液而被中和，形成盐。特别是在使用 含有碳酸钠、碳酸钾、氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属化合物或氢氧化四甲基铵 等有机碱所形成的碱性显影液时，生成的1价盐存在有化学不稳定的倾向。

就残存有不稳定盐的芯图案来说，其内部形成了不均匀的结构，因此不仅 从高透明性(低光传输损耗)观点考虑是不优选的，而且从光波导的可靠性观 点考虑也是不优选的。

专利文献1：日本特开昭63-81301号公报

专利文献2：日本特开平6-258537号公报

专利文献3：日本特开2003-195079号公报

发明内容

本发明目的在于解决所述问题，提供一种透明性和可靠性优异的光波导的 制造方法以及由该制造方法所制造的光波导。

本发明人等反复进行深入研究，结果发现，通过在显影工序和/或显影后 的洗涤工序中含有2价以上的金属离子，或者通过在使用碱性显影液显影后进 行用酸性水溶液洗涤的工序而形成光波导，可以解决所述问题。

也就是说，本发明提供

(1)一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性 树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用 含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序；

(2)一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性 树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性 显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶 液进行洗涤的工序；以及

(3)如上述(2)所述的光波导的制造方法，其中在所述显影工序的碱性 显影液中含有2价以上的金属离子。

根据本发明的制造方法，可以有效地将芯图案内残存的不稳定1价盐转变 为稳定的2价以上的盐，或者可以有效地将其转变回酸性官能基，因此能够以 高生产率得到透明性和可靠性优异的光波导。

附图的简单说明

[图1]表示本发明所实施的回流试验中回流炉内的温度曲线图。

实施发明的最佳方式

以下，对本发明的光波导的制造方法及光波导进行详细说明。

本发明的光波导的制造方法，至少包括在基材上形成由感光性树脂组合物 所形成的感光性树脂层的工序、曝光所希望图案的工序、使用碱性显影液进行 显影的工序，并根据需要包括洗涤工序。

本发明的光波导的制造方法，特征在于在显影工序和显影后的洗涤工序的 至少一个工序中含有2价以上的金属离子，或者是在碱显影后使用酸性水溶液 进行洗涤。