[发明专利]具有多个在环行轨道上引导的环行车的用于电子元件, 尤其是IC′s的操作设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的、用于电子元 件，尤其是IC′s(集成电路)的操作设备，该操作设备具有多个可在 一环行轨道上运动的环行车、用于引导环行轨道上的环行车的引导机 构以及用于使环行车运动的驱动装置，所述环行车分别具有至少一个 用于保持元件的保持单元。

背景技术

在将电子元件，例如IC′s，例如安装到电路板上或以其他方式应 用之前，通常要测试它们的功能性。这里，待测试的元件由通常称为“机 械手/操作器(Handler)”的操作设备输送到测试设备的测试头，在这 里所述元件与测试头的相应触点相接触，并且在执行测试过程之后根 据测试结果对其进行分拣。

机械手通常这样工作，即通过装载工位供应的元件首先由构造成 真空抽吸器的保持单元(“柱塞(Plunger)”)抓住，此后将元件转移 到另一个位置并且定向成使得它们能够由柱塞沿直线路径继续朝接触 座形式的接触装置进给，接触装置与测试设备的测试头电连接。必要 时要进行的对元件的调温既可以在将元件放置在保持单元上以前进 行，也可以在元件位于保持单元上的时间段内进行。另外，还可以通 过对中机构在保持单元上使元件对中，以确保元件相对于接触座的触 点精确定位。此外还已知，用通常利用光电元件工作的位置检测装置 来检测位于保持单元上的元件的准确位置或利用照相机来测量元件。 在执行测试过程之后，又通过保持单元将元件从接触座上取下，并将 其定位成使得它们能够通过卸载工位从机械手上移开并根据测试结果 对其进行分拣。

为了能够以尽可以经济的方式执行元件的测试过程，具有决定意 义的是，机械手以很高的速度工作，就是说，实现尽可能高的吞吐量/ 通过量。

为此目的，例如由DE 10 2004 031 987A1已知一种具有长方体形 的中央部件的机械手中央单元，在中央部件上设有真空抽吸器(“柱 塞”)形式的多个推杆状的可运动的保持单元。这里第一组保持单元与 第二组保持单元成直角定向。由此元件既可以在竖直方向上，也可以 在中央部件旋转90°以后在水平方向上运动。然而在这种机械手中， 由于结构形式引起的时间损失，只能在有限的范围内提高吞吐量。

另外，由US2007/0080703A1已知一种用于光学测量半导体元件 的触点的操作设备。该文献中的设备中采用了八臂的刚性的旋转栅门 (Drehkreuz)。这里要检查的元件被保持在径向向外延伸的旋转栅门 臂的自由外端上并通过旋转栅门的分步式旋转在圆形的环行轨道上运 动。

由US5 412 314A已知一种如权利要求1的前序部分所述的操作 设备。在该文献中的操作设备中，通过平的滚道(Rollenbahn)将环 行车输送到测试工位的区域内。为了能够循环运输环行车，在所述滚 道下方设置具有受驱动的滚子的平行的第二滚道，该第二滚道通过两 个升降装置与上面的滚道相连接。这里，环行车的侧向引导这样实现， 即，滚子的一部分具有楔形横截面，而环行车在其下侧上具有相应的 楔形槽，滚子嵌入该楔形槽。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种开始所述类型的操作设备，该操作 设备使得能够特别稳定且准确的引导环行车以及时间优化地操作元 件。

根据本发明，该目的通过一种用于电子元件、尤其是IC′s的操作 设备来实现，该操作设备具有：

-多个能在一环行轨道上运动的环行车，各所述环行车分别具有至 少一个用于保持电子元件的保持单元和一底板，

-静止的、环形的包括至少一个环绕的导轨的引导装置，用于沿环 行车的环行轨道引导各所述环行车，

-用于使所述环行车运动的驱动装置，

其中，用于保持所述电子元件的各所述保持单元包括压力推杆， 所述压力推杆设计成能垂直于环行车的底板移动，以便在该压力推杆 的前端上分别利用负压保持电子元件，

用于使所述环行车运动的驱动装置具有多个驱动电机，其中每个 环行车与自己的驱动电机作用连接，

每个环行车通过单独的驱动轴和从所述驱动轴出发朝相配的环行 车延伸的驱动臂与相配的驱动电机作用连接

根据本发明，通过静止/固定的环形引导装置沿环行车的环行轨道 引导环行车，该环形引导装置包括至少一个环绕的导轨。