[发明专利]正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：

A1含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元的树 脂，该树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离 时该树脂变得可溶于碱；

A2含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单 元、以及式(1)所示构成单元的树脂，其中所述的能够与羧基反应 而形成共价键的官能团为环氧基或环氧丙烷基；以及

B在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，

其中

R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基，

R²和R³各自独立地表示氢原子、碳数为1至6的直链或支链烷 基、或碳数为3至6的环烷基，条件是R²和R³中至少一者表示碳数 为1至6的直链或支链烷基、或碳数为3至6的环烷基，

R⁴表示可被碳数小于或等于6的烷基、碳数小于或等于6的烷 氧基、或者卤素原子取代的碳数为1至10的直链或支链烷基、可被 碳数小于或等于6的烷基、碳数小于或等于6的烷氧基、或者卤素原 子取代的碳数为3至10的环烷基、或可被碳数小于或等于6的烷基、 碳数小于或等于6的烷氧基、或者卤素原子取代的碳数为7至10的 芳烷基，并且

R²或R³可以与R⁴连接而形成碳数为2至5的亚烷基链。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中

所述的具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元 是通过使用下式(4)或下式(6)所示的自由基聚合性单体而形成的 构成单元，并且含有环氧基作为官能团：

其中

X表示-O-、-S-、-COO-或-OCH₂COO-，

R⁷表示氢原子、甲基或卤素原子，

R⁸、R⁹、R¹⁰、R¹³、R¹⁴和R¹⁵各自独立地表示氢原子或甲基， 并且

n为1至10的整数。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中， 所述B为在受到波长为300nm以上的光化射线辐射时能够产生酸的 化合物。

4.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中， 所述B为下式(3)所表示的化合物：

其中

R⁵表示可被碳数为1至10的烷氧基或7，7-二甲基-2-氧降冰片基 取代的碳数为1至10的直链或支链烷基或碳数为3至10的环烷基、 或者可被碳数为1至5的烷基、碳数为1至5的烷氧基或卤素原子取 代的碳数为6至11的芳基，

X表示碳数为1至4的直链或支链烷基、碳数为1至4的直链 或支链烷氧基、或卤素原子，

m表示0至3的整数，并且

当m表示2或3时，各X相互之间可以相同或不同。

5.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其还包 含：C粘附助剂。

6.一种形成固化膜的方法，包括下列步骤：

将权利要求1至5中任意一项所述的正型感光性树脂组合物涂 敷在衬底上并干燥，以形成涂膜，

透过掩模使用光化射线或放射线对所述涂膜进行曝光，

用碱性显影剂对曝光后的涂膜进行显影，以形成图案，以及

对所获得的图案进行热处理。

7.根据权利要求6所述的形成固化膜的方法，还包括下列步骤：

在所述的用碱性显影剂对曝光后的涂膜进行显影以形成图案的 步骤之后、而在所述的对所获得的图案进行热处理的步骤之前，对所 述涂膜的整个表面进行曝光。