[发明专利]正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成 固化膜的方法。更具体地说，本发明涉及一种适用于形成电子元件的 平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的正型感光性树脂组合物、以及使用 该组合物形成固化膜的方法，所述电子元件例如有液晶显示装置、集 成电路装置、固态成像装置和有机电致发光装置。

背景技术

以往，在诸如液晶显示装置、集成电路装置、固态成像装置和有 机电致发光装置之类的电子元件中，当形成平坦膜(其用于赋予电子 元件的表面以平坦性)、保护膜(其用于防止电子元件的劣化或损伤) 或层间绝缘膜(其用于保持绝缘性)时，通常使用正型感光性树脂组 合物。例如，在制造TFT型液晶显示器时，通过在玻璃衬底上设置 偏光板，形成诸如ITO之类的透明导电电路层以及薄膜晶体管 (TFT)，并用层间绝缘膜覆盖该晶体管，由此来形成背板；通过在 玻璃衬底上设置偏光板，根据需要，可以形成黑底层的图案和滤色器 层的图案，并且进一步依次形成透明导电电路层和层间绝缘膜，由此 来形成顶板；在将该两板隔着隔板而对向设置之后，将液晶封装在背 板和顶板之间。在该方法中，要求在形成层间绝缘膜时所使用的感光 性树脂组合物具有优异的感光度、残膜率(residual film ratio)、耐 热性、粘附性和透明性。此外，还要求感光性树脂组合物在贮藏时具 有优异的经时稳定性。

关于感光性树脂组合物，例如，专利文献1提出了这样的感光性 树脂组合物：其含有(A)可溶于碱性水溶液中的树脂(其为以下物 质的聚合物：(a)不饱和羧酸或不饱和酸酐、(b)具有环氧基的自 由基聚合性化合物、以及(c)其他的自由基聚合性化合物)和(B) 生成辐射敏感性酸的化合物，另外，专利文献2提出了这样的感光性 树脂组合物，其包含：碱溶性的丙烯酸系聚合物粘结剂、含有重氮醌 基团的化合物、交联剂、以及光生酸剂(photo-acid generator)。然 而，这些感光性树脂组合物在感光度、未曝光区域的残膜率、分辨率 和经时稳定性方面均不够充分，因此不能满足高质量液晶显示装置的 制造。专利文献3提出了这样的正型化学增幅抗蚀剂组合物，其含有 交联剂、产酸剂、以及具有保护基团(其在酸的作用下能够断裂)的 树脂，其中所述树脂本身不溶或难溶于碱性水溶液中，但是当所述保 护基团断裂之后，所述树脂可溶于碱性水溶液中。但是，该组合物的 粘附性或透光度不够充分，并且不能满足高质量液晶显示装置的制 造。专利文献4提出了这样的辐射敏感性树脂组合物，其包含产酸剂 和树脂(该树脂具有缩醛结构和/或缩酮结构、以及环氧基)，但是 其感光度低从而不令人满意。

专利文献1：JP-A-5-165214

专利文献2：JP-A-10-153854

专利文献3：JP-A-2004-4669

专利文献4：JP-A-2004-264623

发明内容

发明待解决的问题

因此，本发明的一个目的是提供一种具有优异的感光度、残膜 率以及储存稳定性的正型感光性树脂组合物以及使用该组合物形成 固化膜的方法，它们是这样的正型感光性树脂组合物以及使用该组合 物形成固化膜的方法，当该组合物被固化时，确保能够获得具有优异 的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。

本发明的另一个目的是提供一种利用所述形成固化膜的方法而 获得的固化膜、以及具有该固化膜的液晶显示装置、集成电路装置、 固态成像装置或有机电致发光装置。

解决问题的手段

本发明人为了达到上述目的进行了深入研究，从而完成了本发 明。

本发明如下。

(1)一种正型感光性树脂组合物，其包含：

(A1)含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元的 树脂，该树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解 离时该树脂变得可溶于碱；

(A2)含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成 单元的树脂；以及

(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，

其中R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基，