[发明专利]仿真传统测试系统的行为

说明书

技术领域

本专利申请整体上涉及仿真传统测试系统的行为。

背景技术

自动测试设备(ATE)在半导体器件和电路板组件的制造中起作 用。制造商通常使用自动测试设备，或“测试器”，在制造过程期间， 验证器件的操作。这些器件称为“被测器件”(DUT)或“被测单元” (UUT)。故障的早期检测消除了否则将会由于加工有缺陷器件导致的 成本，由此降低整个制造成本。制造商还使用ATE来分级各种规格。 器件能根据性能方面的不同等级，诸如速度，被测试和装箱。器件能 根据它们的实际性能级，被标记和出售。

对此已经开发出了测试程序，在此称为“传统”或预先存在的ATE。 已经开发出了一些测试程序来解决在ATE的无效通信通道上出现的信 号。无效通信通道可以包括已经关闭驱动器、检测器、有源负载和/或 PMU或使它们无效的通信通道。尽管无效，但一些通信通道仍然能在 ATE检测器上记录信号电平。这可能是由于例如来自ATE的驱动器的 泄漏电流或一些其他非计划中的信号。不同类型的传统ATE通常对无 效通道显示出一致的信号电平。因此，已经开发出了测试程序来预期 这些信号并且在测试期间考虑这些预期的信号。对这种测试程序，不 能记录来自无效通信通道的预期信号会导致DUT不能测试的表示，实 际上，故障表示仅是无效通信通道上的非预期信号的结果。

近年来，已经用更新、更高性能的ATE代替许多类型的传统ATE。 尽管这些更新的测试器具有许多新的特性，但是在这些更新测试器上 运行的许多测试程序已经被编写并且依赖传统ATE的性能特性。例如， 当禁用驱动器和有源负载时(例如，因此，通信通道被无效)，测试程 序可以依赖于通信通道的预期偏置条件。然而，更新ATE可能不必要 具有与传统ATE相同的性能特性。这可能影响在更新或后继ATE使用 现有的测试程序。

发明内容

本发明申请描述用于仿真传统测试系统的行为的方法和包括电路 的装置。

在此所述的是在对器件进行测试中所使用的系统和装置，该装置 包括具有与之相关的可编程参数集的通信通道。可编程参数产生通信 通道的偏置条件。偏置控制电路用来影响由可编程参数产生的偏置条 件以便仿真期望偏置条件。还描述了其他方面、特性和实现。

在附图和下面的说明书中阐述了一个或多个例子的细节。更多的 特性、方面和优点将从说明书、附图和权利要求变得显而易见。

附图说明

图1是可以用来产生在仿真期望偏置条件的通信通道上的偏置条 件的ATE部件的框图。

图2是用于对器件进行测试的ATE的框图。

图3是用在ATE中的测试器的框图。

图4是可以用来仿真传统ATE在ATE和DUT间的无效通信通道 上的行为的电路图。

图5示出了用来为可编程参数集确定无效通信通道的偏置电压的 图的例子。

不同附图中相同的附图标记表示相同的元件。

具体实施方式

图1示出了可以是ATE1的一部分的部件的框图。ATE1可以是传 统ATE的后继，诸如现有ATE的更新模型或ATE的全新模型。这些部 件可以用在ATE1中来仿真传统ATE的偏置条件，或任何其他期望偏 置条件。偏置条件可以包括偏置电流，其可以是或包括泄漏电流。偏 置条件可以包括偏置电压，其可以是或包括偏移(例如非零)电压。 测试程序2可设计成与传统ATE(未示出)一起使用。在ATE1中，测 试程序2可用来对在通信通道3上从DUT(未示出)接收的信号执行 测试。通过软件、固件和/或硬件的组合实现的控制模块4控制ATE1 上测试参数的编程。这些测试参数可以包括但不限于用于检测器5的 测试阈值(例如高或V_OH电平，以及低或V_OL电平)、用来控制(多个) 有源负载的电压和/或电流输出的参数，和/或实现用于其他电路元件7 的其他功能的参数。

测试参数值影响通信通道上的偏置条件。即，用于测试参数的不 同值能产生不同的偏置条件。在一个例子中，将由用于传统ATE通信 通道上的这些参数的特定值产生的偏置条件与为后继(例如更现代) ATE上的相同参数值产生的偏置条件进行比较。偏置控制器6(如下所 述)影响通信通道上的(多个)偏置条件，以便用于后继ATE的(多 个)偏置条件与传统ATE匹配。