[发明专利]工件承载器装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种根据权利要求1前序部分所述的工件承载器装置。 所述装置特别是用于在真空器械中对工件进行处理，并且特别是用于对 所述工件进行涂覆。

背景技术

WO 2007/025 397A1中披露了一种普通类型的工件承载器装置， 在所述工件承载器装置中，传动部件被实施为与旋转轴偏心联接在一起 的驱动盘，所述旋转轴被所述传动部件上面的相对应的凹部紧密环绕。 有可能仅通过直接控制所述驱动盘的运动的辅助齿轮组来影响工件转 动与旋转框架转动之间的传动比。

EP 1 153 155A1中披露了另一种工件承载器装置。在该种情况下， 可转动地安装在旋转框架上面的工件保持器进行旋转，其原因在于，在 每一种情况下，工件保持器上面的带齿的轮都与环形齿轮相啮合，所述 环形齿轮共轴地环绕旋转框架的驱动轴线并且相对于底座框架而言呈 扭转刚性。该种已公知的工件承载器装置具有相对复杂的结构。所述传 动比仅可在相当窄的范围内进行选择。

在DE 198 03 278A1中所披露的其中一个工件承载器装置中，工 件保持器的旋转通过锚固在底座框架上面且暂时接合所述工件保持器 的驱动器而得以实现。在该种情况下，所述旋转是间歇式的，这在本质 上通常是不利的并且特别是对于施涂由多个非常薄的层构成的涂层而 言，可能会损害工件的质量。

DE 103 08 471A1中披露了一种工件承载器装置，在所述工件承载 器装置中，所述工件承载器被设置在旋转框架上面呈多个同心环。所述 环的每一个工件承载器装置被制成以便在与旋转框架上面的固定不动 的中心轮接合的中间齿轮组的作用下进行旋转。与环相关的所述工件承 载器彼此间操作性地联接在一起，从而使得所述旋转被传送到其余工件 承载器上面。

发明内容

本发明基于以下目的，即披露一种普通类型的工件承载器装置， 所述工件承载器装置结构简单、可靠性好、并且允许以简单的方式对传 动比进行调节。本发明的以上目的是通过权利要求1特征部分中所记载 的特征而得以实现的。

本发明的优点特别在于：对工件保持器的驱动非常简便且尽管如此 本发明还允许在相对较宽的范围内选择传动比。

附图说明

下面，结合仅表示示例性实施例的附图对本发明进行详细描述，在 所述附图中：

图1是根据第一实施例的本发明的工件承载器装置的轴向剖面的 示意图；

图2是图1所示部分的详图；

图3是图2所示部分的顶视图；

图4是本发明的工件承载器装置的一部分的局部剖切透视图；和

图5是本发明的工件承载器装置的一部分的放大的顶视图。

具体实施方式

根据本发明的工件承载器装置的一个优选实施例(图1)，在固定 不动的底座框架1上面设置有工件承载器2，所述工件承载器具有被安 装在底座框架1上面以便能够围绕垂直驱动轴线4进行旋转的旋转框 架3，并且所述工件承载器的下端在其外表面上面承载着环形齿轮5， 所述工件承载器利用所述环形齿轮啮合由马达6驱动的带齿的轮7。旋 转框架3被实施为关于驱动轴线4大体上旋转对称的封闭壳体并且具有 中心管状部分8，在所述中心管状部分之间沿着所述驱动轴线4设置连 续的凸出部(图1中仅示出了最下面的凸出部，同样参见图4)，每一 个所述凸出部由底部部件9、罩盖10和与管状部分8同心的外环11构 成，所述外环11被联接到底部部件9的外边缘上面并且在罩盖10的外 边缘上方略微伸出。