[发明专利]用于制造工件的方法和装置

说明书

技术领域

本发明致力于制造由多个真空处理工艺进行处理的工件，从而尤其涉及制造类似于晶片的衬底、数据存储磁盘或用于与太阳能电池板制造相关的光电应用的衬底，例如被涂覆的玻璃衬底。

背景技术

对于真空中的衬底的处理，例如涂覆多层、加热、冷却、清洁以及蚀刻，存在着许多在不破坏真空的情况下输送衬底通过抽真空的加工工位的组件的原理。

US 2006/0054495和US 5658114显示了真空加工工位的线性组件。在US 5655277中，真空加工工位被组装成圆形配置。

在这两种情况下，即在线性布置和圆形布置中，整个加工的一个循环可被细分成两种类型的步骤，即输送步骤和加工步骤。通常，加工装置中的所有衬底是同时，即及时并行地从一个加工工位输送到下一加工工位的。衬底因而以明确限定的顺序穿过所有工位，这种顺序对于所有正在被加工的衬底而言是相同的。在输送步骤之后为相应的加工步骤，在该加工步骤中，在相应的真空加工工位中同时通过真空工艺而对衬底进行处理。

衬底的输送步骤只能在相应的真空加工工位中的所有加工完成之后才开始。因而，整个装置的间歇时间由相应的真空加工工位处的加工时间跨度中的最长的一个控制。

如果相应的真空处理工位中的加工时间跨度彼此相差不太大，那么，以并行方式即同时针对所涉及的衬底的输送和加工有利于获得高的吞吐量(每单位时间处理的衬底的数量)。用于供给真空加工工位的输送设备以及这种输送设备的时间控制可保持简单，因而所提及的加工原理对于制造所提及的工件而言是极具成本效率的。

另一方面，这个构思的固有缺点是最长的加工时间跨度确定了该装置的整个循环时间。尤其是在其中一个单个工艺比其它工艺占用相当更长的时间的情况下，由于用于较短的加工时间跨度的加工工位只是在整个循环时间的小部分时间内使用的事实，所提及的构思是效率低下的，即发生高的停歇时间。由于较长的加工时间跨度阻碍装置的整个循环时间，所以不能采用较短的加工时间跨度。

在某些情况下，可通过连续地使用两个或更多相同的真空加工工位以细分那些具有更长的加工时间跨度的工艺的加工时间跨度，从而克服这个问题。作为一个示例，可在两个或多于两个的步骤中使用相应数量的真空加工工位来沉积某些层，从而使沉积时间适应其它加工工位中的更短的加工时间跨度。用于一种加工的较长的加工时间跨度被细分成多个加工时间跨度，从而在后续的加工工位处实现相应的加工。因此，可减小整个装置的停歇时间。

然而，在所有情况下，单个工艺的分裂是不可能的。作为一个示例，非常敏感的层的沉积必须在同一个加工工位中不间断地进行。

根据第二原理，针对上面提及的问题的另一基本方案是通过输送设备来个别地供给加工工位。将例如衬底的工件加载到加工工位中和从加工工位除去工件是以连续的方式确立的，并且，在相应的加工工位中对工件进行加工至少在时间上是重叠并因而基本上同时，即并行地进行的。在完成一个单个加工之后，实现至下一加工的输送。通过这个原理，可减小上面提到的停歇时间。US 4715921显示了根据刚才所提及的原理的装置和工艺。“成簇”布置是已知的，其具有围绕中心输送室或搬运室而分组的单个加工工位的圆形布置。通过加载/卸载锁定工位，可在中心输送室中维护真空环境。

根据US 5090900，可抽真空的中心输送室连接至多个加工工位。在这种情况下，衬底被连续地输送，并且，整个系统提供了相对于单个工艺工位的加载/卸载时间的高灵活性。然而，一个中心输送设备必须进行所有的移动，并且一次只能搬运一个工件，这些事实导致这种系统不适宜高吞吐量的应用。尤其是对于大量不同的加工工位而言，搬运行为，即输送行为，变成系统吞吐量的瓶颈。

因而，可被简称为“同时输送”和“单个输送”的这两种基本原理具有以上所提及的优点和缺点。这两种原理缺乏相对于优化的整个系统或装置性能，尤其是在吞吐量的方面的灵活性。

发明内容

本发明的目的是针对所提及的缺点而改善这种用于制造工件的方法和相应装置，从而保持相应优点。

为此，根据本发明的用于制造均由多个真空处理工艺处理的工件的方法，包括：

提供用于各个真空工艺的真空加工工位；

将真空加工工位至少分组成第一组工位和第二组加工工位，第一组工位分别进行第一真空处理工艺，第二组加工工位分别进行第二真空处理工艺。

明显地，第一和第二真空处理工艺分别包括不同或相同的工艺。

第一组真空工艺分别具有通常不相等，但可能相等的第一加工时间跨度，这些时间跨度的至少一部分可以相等。