[发明专利]蒸镀源、有机EL元件的制造装置

权利要求书

1.一种蒸镀源，其构成为，具有：

环状的加热装置；以及

被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，

当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，

上述蒸发容器是由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。

3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发容器的开口的高度低。

4.根据权利要求1所述的蒸镀源，其中，

具有：覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖构件，

上述盖构件具有：盖部主体；以及形成于上述盖部主体的贯通孔，

上述盖部主体配置于上述蒸发容器内部的、上述蒸发容器的开口与底面之间，

在上述蒸发容器内从上述有机材料释放蒸气时，该蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器的外部空间释放。

5.根据权利要求4所述的蒸镀源，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围的空间。

6.根据权利要求4所述的蒸镀源，其中，

上述盖构件具有：连接于上述盖部主体的悬吊部，

上述悬吊部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，

上述盖部主体通过上述悬吊部，悬挂于上述蒸发容器的内部空间。

7.一种有机EL元件的制造装置，在基板表面形成有机薄膜而制造有机EL元件，其中，该有机EL元件的制造装置构成为，

具有：真空槽；以及配置于上述真空槽内的蒸镀源，

上述蒸镀源，具有：环状的加热装置；以及

被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，

当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，

上述蒸发容器由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度。

8.根据权利要求7所述的有机EL元件的制造装置，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。

9.根据权利要求8所述的有机EL元件的制造装置，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发容器的开口的高度低。

10.根据权利要求7所述的有机EL元件的制造装置，其中，

具有：覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖构件，

上述盖构件具有：盖部主体，以及形成于上述盖部主体的贯通孔，

上述盖部主体配置于上述蒸发容器内部的、上述蒸发容器的开口与底面之间，

在上述蒸发容器内从上述有机材料释放蒸气时，该蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器的外部空间释放。

11.根据权利要求10所述的有机EL元件的制造装置，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围的空间。

12.根据权利要求10所述的有机EL元件的制造装置，其中，

上述盖构件具有：连接于上述盖部主体的悬吊部，

上述悬吊部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，

上述盖部主体通过上述悬吊部，悬挂于上述蒸发容器的内部空间。