[发明专利]蒸镀源、有机EL元件的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及蒸镀源，和使用该蒸镀源的装置。

背景技术

历来，对于蒸镀装置的蒸发容器(坩埚)，使用石墨制的容器。由于石墨制的坩埚需要某种程度的壁厚，所以坩埚变重，热容变大。

因此，坩埚的温度响应性差，难以正确地控制坩埚内的蒸镀材料的温度。另外，在作为蒸镀材料而将有机材料填充于坩埚的情况下，根据有机材料的种类，存在有机材料渗入坩埚的情况。

专利文献1：日本专利申请特开2005-97730号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种温度响应性高，且蒸镀材料难以渗入蒸发容器的蒸镀源。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明是蒸镀源，其构成为具有：环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，其中，上述蒸发容器是由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度。

本发明是蒸镀源，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。

本发明是蒸镀源，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发容器的开口的高度低。

本发明是蒸镀源，其中，具有覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖构件，上述盖构件具有：盖部主体，以及形成于上述盖部主体的贯通孔，上述盖部主体配置于上述蒸发容器内部的、上述蒸发容器的开口与底面之间，在上述蒸发容器内从上述有机材料释放蒸气时，该蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器的外部空间释放。

本发明是蒸镀源，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围的空间。

本发明是蒸镀源，其中，上述盖构件具有连接于上述盖部主体的悬吊部，上述悬吊部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，上述盖部主体通过上述悬吊部，悬挂于上述蒸发容器的内部空间。

本发明是有机EL元件的制造装置，在基板表面形成有机薄膜而制造有机EL元件，其中，该有机EL元件的制造装置构成为，具有：真空槽；以及配置于上述真空槽内的蒸镀源，上述蒸镀源，具有：环状的加热装置；以及被插入上述加热装置，并配置有机材料的蒸发容器，当上述加热装置发热时，上述有机材料被加热，从上述蒸发容器释放上述有机材料的蒸气，上述蒸发容器由铜、铜/铍合金、Ti或Ta的任一种金属材料构成，侧壁与底壁被成形为0.3mm以上0.7mm以下的厚度。

本发明是有机EL元件的制造装置，其中，构成为在上述加热装置的周围配置有水冷护罩，上述加热装置的外周侧面与上述水冷护罩的内周侧面面对。

本发明是有机EL元件的制造装置，其中，上述水冷护罩的高度被做成比上述蒸发容器的开口的高度低。

本发明是有机EL元件的制造装置，其中，具有覆盖上述蒸发容器的内部空间的盖构件，上述盖构件具有：盖部主体，以及形成于上述盖部主体的贯通孔，上述盖部主体配置于上述蒸发容器内部的上述蒸发容器的开口与底面之间，在上述蒸发容器内从上述有机材料释放蒸气时，该蒸气充满上述蒸发容器的内部空间，并通过上述贯通孔向上述蒸发容器的外部空间释放。

本发明是有机EL元件的制造装置，其中，上述盖部主体位于以上述加热装置包围的空间。

本发明是有机EL元件的制造装置，其中，上述盖构件具有连接于上述盖部主体的悬吊部，上述悬吊部载置于上述蒸发容器的开口的缘部分，上述盖部主体通过上述悬吊部，悬挂于上述蒸发容器的内部空间。

发明的效果

因为蒸发容器的热响应性高，所以能够缩短从加热开始到蒸气释放的启动时间。因为可以正确地进行有机材料的温度控制，所以能够不分解有机材料而使其蒸发。在停止加热装置时，蒸气释放在短时间停止。因为有机材料不析出到贯通孔，所以蒸气释放速度稳定。因为有机材料不渗入蒸发容器，所以能够有效利用高价的有机材料。

附图说明

图1是说明真空蒸镀装置的一例的剖面图。

图2是说明本发明的蒸镀源的一例的剖面图。

附图标记说明

1：真空蒸镀装置(有机EL元件的制造装置)

3：蒸镀源

9：蒸发容器

10：加热装置

21：有机材料

具体实施方式