[发明专利]驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置以及计测装置无效
| 申请号： | 200880115228.8 | 申请日： | 2008-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101855705A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 藤本博志;坂田晃一;佐伯和明;大友刚 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人横滨国立大学;株式会社尼康 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;F16F15/02;G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 吕林红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动 控制 方法 装置 曝光 以及 | ||
1.一种驱动控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的物体，其特征在于：
根据驱动信号和扰动修正信号来控制施加于所述物体的力，其中，
所述驱动信号驱动用于使所述物体在所述第1方向上移动的第1致动器，
所述扰动修正信号是根据所述物体的所述第2方向的扰动而生成的。
2.如权利要求1所述的驱动控制方法，其中，所述扰动包含所述物体被所述第1致动器驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述位置变动成分的逆相位使所述物体在所述第2方向上移动。
3.如权利要求1或2所述的驱动控制方法，其中，针对所述扰动修正信号进行完全追踪控制。
4.如权利要求3所述的驱动控制方法，其中，所述完全追踪控制是单一速率控制。
5.如权利要求3所述的驱动控制方法，其中，所述完全追踪控制是多速率控制。
6.一种驱动控制装置，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的物体，其特征在于，具备：
信号生成装置，生成驱动用于使所述物体在所述第1方向上移动的第1致动器的驱动信号，并根据所述物体的所述第2方向的扰动生成扰动修正信号；以及
控制装置，根据所述驱动信号和所述扰动修正信号来控制施加于所述物体的力。
7.如权利要求6所述的驱动控制装置，其中，所述扰动包含所述物体被所述第1致动器驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述位置变动成分的逆相位使所述物体在所述第2方向上移动。
8.如权利要求6或7所述的驱动控制装置，其中，针对所述扰动修正信号进行完全追踪控制。
9.如权利要求8所述的驱动控制装置，其中，所述完全追踪控制是单一速率控制。
10.如权利要求8所述的驱动控制装置，其中，所述完全追踪控制是多速率控制。
11.一种载台控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的载台，其特征在于：
根据驱动信号和扰动修正信号来控制施加于所述载台的力，其中，
所述驱动信号驱动用于使所述载台在所述第1方向上移动的第1致动器，
所述扰动修正信号是根据与所述载台的所述第2方向的振动相关的传递函数而生成的。
12.如权利要求11所述的载台控制方法，其中，所述传递函数包含所述载台被所述第1致动器驱动时所产生的关于所述第2方向的位置变动成分，所述扰动修正信号能利用所述位置变动成分的逆相位使所述载台在所述第2方向上移动。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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