[发明专利]驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置以及计测装置

说明书

技术领域

本发明涉及驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。

本申请案主张2007年9月7日申请的日本特愿2007-233325号的优先权，将其内容援用于此。

背景技术

以往，例如在制造液晶显示器(统称为平面显示器：flat paneldisplay)的工序中，为了在基板(玻璃基板)上形成晶体管或二极管等元件，大量使用曝光装置。此曝光装置是将涂布有抗蚀剂的基板装载于载台装置的保持件上，通过投影透镜等光学系统将描绘于掩模的微细电路图案转印至基板的装置。近年来，多使用例如步进扫描(step-and-scan)方式的曝光装置(请参照例如日本特开2000-077313号公报)。

步进式扫描方式的曝光装置，是在将狭缝状的曝光用光照射于掩模的状态下，一边相对于投影光学系统使掩模与基板彼此同步移动、一边将形成在掩模上的图案的一部分逐次转印至基板的照射区域，每结束对一个照射区域的图案转印后就使基板步进移动以进行对其他照射区域的图案转印的曝光装置。

在对设定于基板表面的多个区划区域(照射区域)的各个进行曝光处理的情况下，须一边使基板与掩模间的位置关系同步一边以配合待曝光能量的速度而基本定速移动。因此，所采用的顺序是使搭载基板的基板载台与装载掩模的掩模载台加速，在该加速中取得载台间的同步，之后，在基板上的作为曝光对象的照射区域接近曝光区域(曝光位置)的时间点，对曝光区域照射曝光用光来进行曝光。

对曝光区域照射曝光用光时，为了保持基于例如投影光学系统的正对焦(just focus)状态(投影光学系统PL的成像点与基板曝光区域的Z方向位置一致)，设有例如以传感器等测定前述投影光学系统所包含的透镜与基板之间的距离，通过反馈控制进行自动对焦的机构(焦点位置检测系统等)。

发明内容

近年来，曝光区域逐渐大面积化，载台本身也日趋大型化。然而，在使大型载台加速时载台易产生振动，加速后的载台在达到一定速度之后即刻也会有振动残留的情形。因此，有自动对焦不够充分、难以维持正对焦状态的危险。上述载台的振动问题并不只是曝光装置，在具有载台等可移动物体的其它装置等中也有相同问题。

本发明的目的，在提供一种能确实地抑制欲驱动物体的振动的驱动控制方法、驱动控制装置、载台控制方法、载台控制装置、曝光方法、曝光装置及计测装置。

本发明的若干实施方式，采用与展示实施方式的各图对应的以下结构。但对各要素附加的具括号的符号仅为该要素的例示，而不是用于限定各要素的。

本发明第1实施方式的驱动控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的物体(PST)，其特征在于：根据驱动信号和扰动修正信号(27)来控制施加于所述物体的力，其中所述驱动信号用以驱动使该物体在所述第1方向上移动的第1致动器(16)，所述扰动修正信号是根据所述物体的输出端的所述第2方向的扰动信号而生成的。

根据第1实施方式，除了驱动用于使物体(PST)在第1方向上移动的第1致动器(16)的驱动信号外，还根据基于物体的第2方向的扰动而生成的扰动修正信号(27)来控制施加于物体的力，因此能防止在使物体在第1方向上加速后所产生的在输出端的扰动的不良影响。

本发明第2实施方式的驱动控制装置，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的物体(PST)，其具备：信号生成装置(11)，生成驱动用于使所述物体在所述第1方向上移动的第1致动器(16)的驱动信号，并根据所述物体的所述第2方向的扰动生成扰动修正信号(27)；以及控制装置(11a)，根据所述驱动信号及所述扰动修正信号控制施加于所述物体的力。

根据第2实施方式，除了驱动用以使物体(PST)在第1方向上移动的第1致动器(16)的驱动信号外，也根据基于物体的第2方向的扰动所生成的扰动修正信号(27)控制施加于物体的力，因此能防止在使物体在第1方向加速后所产生的在输出端的扰动的不良影响。

本发明第3实施方式的载台控制方法，控制至少能在第1方向和与该第1方向不同的第2方向上移动的载台(PST)，其特征在于：根据驱动信号和扰动修正信号(27)来控制施加于所述载台的力，其中，所述驱动信号驱动用于使所述载台在该第1方向上移动的第1致动器(16)，所述扰动修正信号是根据与所述载台的所述第2方向的振动相关的传递函数而生成的。