[发明专利]粘合基板制造装置和粘合基板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及粘合基板制造装置和粘合基板制造方法。

本申请基于2007年11月09日于日本申请的专利申请2007-291946号主张优先权，并在此援用其内容。

背景技术

液晶显示器和等离子体显示器等平板显示器(FPD)具有将两块基板粘合而成的结构。例如，液晶显示器通过将矩阵状地形成有多个TFT(薄膜晶体管)的阵列基板(TFT基板)与形成有彩色滤光片和遮光膜等的彩色滤光片基板(CF基板)以数μm程度的间隔相对配置，在两基板间封入液晶，并将两基板利用含有光固化性树脂的密封部件(粘接剂)相互粘合来制造。为了防止杂质气体的混入等，在真空环境下进行这两块基板的粘合。

作为这种粘合两块基板的装置，目前已知例如专利文献1的基板粘合装置。专利文献1的基板粘合装置包括：由上侧容器与下侧容器构成的真空室、用于使上基板移动的上基板搬送夹具、用于使上侧容器上下移动的第一支撑棒、支撑该支撑棒的底座、和用于使上基板搬送夹具上下移动的第二支撑棒。

上述基板粘合装置中，使第一支撑棒向下方向移动，上侧容器与下侧容器抵接以构成真空室，并使第二支撑棒向下方向移动，以使上基板搬送夹具下降，使得上基板与下基板以规定间隔相对配置。然后，进行上基板与下基板的位置对准并粘合上基板与下基板。

专利文献1：日本专利公开特开2007-212572号公报

上述专利文献1的粘合基板制造装置，在将处理室内抽真空后，进行上基板与下基板位置对准，并将这两块基板粘合。但是，在进行上基板与下基板位置对准之后，当通过使配备在底座上的第二支撑棒移动以使上基板搬送夹具移动时，上基板与下基板的位置可能会相对偏移。这是由于，从底座到下基板之间存在多个部件，因此配置有下基板的下侧容器与配备有第二支撑棒的底座进行不同的运动。如此，具有因上基板与下基板的相对位置产生偏移，而造成成品率下降的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明的课题在于提供一种能够使两块基板的位置对准精度提高，并提高成品率的粘合基板制造装置和粘合基板制造方法。

为了解决上述课题并达到上述目的，本发明采用了以下方案。

(1)本发明的粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，包括：支撑所述下基板的基底部；能够上下移动，且与所述基底部一起形成粘合处理室的室部件；竖立设置在所述基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒独立于所述室部件上下移动，且能够保持所述上基板的上加压部件，通过移动所述上加压部件，在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板。

根据上述(1)记载的粘合基板制造装置，由于保持有上基板的上加压部件由竖立设置在载置有下基板的基底部上的支撑棒引导而上下移动，因此能够将存在于上基板与下基板之间的部件数抑制到最小限度。由此，能够防止从上基板与下基板的位置对准到粘合之间，上基板与下基板的相对位置产生偏移。其结果是能够使两块基板的位置对准精度提高，并提高成品率。另外，由于上加压部件和室部件能够分别上下移动，因此能够使室部件高速地上下移动，并能够使上加压部件在基板粘合时进行微小的运动(上下移动)。也就是，提高两块基板的位置对准精度，并提高生产效率。

(2)优选地，在所述室部件上设置有用于吸附所述上基板的吸附杆。

上述(2)的情况下，能够使吸附杆通过与室部件的上下移动联动而上下移动。另外，通过使上加压部件独立于室部件上下移动，能够将上基板从吸附杆传送给上加压部件。因此，不需要吸附杆独自的上下移动机构，能够抑制制造成本的上升。

(3)优选地，在所述基底部上设置有载置所述下基板的载置台和使该载置台移动的移动机构。

上述(3)的情况下，由于下基板被载置在载置台上，因此能够稳定保持下基板，高精度地进行下基板与上基板的位置对准。

(4)优选地，在所述基底部上设置有：吸附所述下基板的一部分并使所述下基板移动的下基板吸附装置；和当通过该下基板吸附装置移动所述下基板时，能够使所述下基板中未被所述下基板吸附装置吸附的部位浮起，而当粘合所述上基板与所述下基板时，能够吸附所述下基板中未被所述下基板吸附装置吸附的部位的下基板浮起吸附装置。