[发明专利]用于对准电子电路板的对准装置及方法有效
申请号: | 200880115777.5 | 申请日: | 2008-03-05 |
公开(公告)号: | CN101855720A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 安德烈亚·贝茨尼 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利唯一股东有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
地址: | 意大利圣亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 对准 电子 电路板 装置 方法 | ||
1.一种用于对准电子电路板(11)的对准装置,其包括传送装置(13),能够沿传送轴(Y)将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至对准位置(15),其界定对准平面(P),其特征在于该对准装置还包括活动构件(20),该活动构件(20)包括:
第一移动构件(33),其能够在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴(Z),其基本上与该对准平面(P)垂直;
第二移动构件(28),其能够围绕该第一轴(Z)旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及
至少第三移动构件(34),其能够在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴(X),其基本上横切于该第一轴(Z),且基本上与该传送轴(Y)共平面。
2.如权利要求1所述的对准装置,其特征在于:该活动构件(20)被布置在该对准平面(P)之下。
3.如权利要求2所述的对准装置,其特征在于:该活动构件(20)为托架型。
4.如权利要求1所述的对准装置,其特征在于:该活动构件(20)具有第四移动构件,其能够在第三方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第三方向的指向是该传送轴(Y)。
5.如上述任一项权利要求所述的对准装置,其特征在于:该活动构件(20)包括操作器构件(30)。
6.如权利要求5所述的对准装置,其特征在于:该操作器构件(30)具有夹持元件(32)。
7.如上述任一项权利要求所述的对准装置,其特征在于:该活动构件(20)包括移动单元(40)。
8.如权利要求7所述的对准装置,其特征在于:该移动单元(40)由连接构件(29)关联于该操作器构件(30)。
9.如权利要求8所述的对准装置,其特征在于:该移动单元(40)包括旋转构件(25),其能够受该第二移动构件(28)的控制而围绕该第一轴(Z)旋转。
10.如权利要求9所述的对准装置,其特征在于:该移动单元(40)包括第一滑动构件(21),其能够受该第三移动构件(34)的控制而沿该第二方向滑动。
11.如权利要求10所述的对准装置,其特征在于:该移动单元(40)包括第二滑动构件,其能够受该第四移动构件的控制而沿该第三方向滑动。
12.如上述任一项权利要求所述的对准装置,其特征在于:其包括影像获取构件,该构件被布置为与该对准位置(15)相对应。
13.如上述任一项权利要求所述的对准装置,其特征在于:该对准位置(15)包括用于起到后向照明效果的照明构件(18)。
14.如权利要求13所述的对准装置,其特征在于:该照明构件包括发光二极管(18)。
15.一种用于对准电子电路板(11)的方法,其包括第一步骤,在此步骤中,传送装置(13)沿传送轴(Y)将该电路板(11)至少从入口位置(14)传送至界定对准平面(P)的对准位置(15),其特征在于其至少包括第二步骤,在此步骤中:
第一移动构件(33)在第一方向上移动该活动构件(20),以使该活动构件(20)关联于该电路板(11),该第一方向的指向为第一轴(Z),其基本上与该对准平面(P)垂直;
第二移动构件(28)围绕该第一轴(Z)旋转与该活动构件(20)相关联的电路板(11);以及
第三移动构件(34)在第二方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第二方向的指向为第二轴(X),其基本上横切于该第一轴(Z),且基本上与该传送轴(Y)共平面。
16.如权利要求15所述的方法,其特征在于:在该第二步骤中,第四移动构件在第三方向上移动与该活动构件(20)相关联的电路板(11),该第三方向的指向为该传送轴(Y)。
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