[发明专利]镀膜设备的框架式真空室有效
| 申请号： | 200880118008.0 | 申请日： | 2008-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101878320A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | F·朱恩德;M·迈耶;S·克拉斯尼泽;J·格维亨伯格 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 框架 真空 | ||
【权利要求书】：
1.镀膜设备的真空室布置有各种功能元件，该室包括一个室框架，镶嵌板以机械方式可拆卸地和密封地嵌入该框架中，且其中的一些镶嵌板支承功能元件，其特征为，该室框架包括至少一个用整块金属板成型的、带有板条的底面，这些板条在连接区这样弯折到该底面上，使它们构成室框架的支撑板。
2.按权利要求1的真空室，其特征为，由真空室包围的体积的表面积被镶嵌板占有至少40％，特别是优先至少50％。
3.按前述权利要求任一项的真空室，其特征为，功能元件和镶嵌板用法兰连接，最好用镶嵌板上配置的抓钩可拆卸地连接。
4.按前述权利要求任一项的真空室，其特征为，由框架构成的至少两个、最好多个孔洞具有相同的几何形状，并由此至少两块、最好多块镶嵌板通过机械拆卸和固定能够交换它们的位置。
5.按前述权利要求任一项的真空室，其特征为，镶嵌板至少在与框架的连接区是平板。
6.按前述权利要求任一项的真空室，其特征为，框架相对于一根轴线具有n个对称性，其中n是大于2的整数，且镶嵌板按框架对称性的相应方式嵌入。
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