[发明专利]探针无效
申请号: | 200880118192.9 | 申请日: | 2008-11-05 |
公开(公告)号: | CN101878431A | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 米沢俊裕 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷;南霆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 | ||
1.一种探针,用于通过与被检查体接触来检查该被检查体的电气特性,其中,所述探针具有:
梁部,其被支撑部件单臂支撑;以及
触头,其从所述梁部的自由端部向被检查体一侧延伸;
其中,在所述触头的侧部形成有切口部。
2.如权利要求1所述的探针,其中,
所述切口部形成在所述触头的靠所述梁部的固定端部侧的侧部和靠所述梁部的自由端部侧的侧部中的一侧部或两侧部上。
3.如权利要求1所述的探针,其中,
多个所述切口部形成在不同的高度处。
4.如权利要求1所述的探针,其中,
在上下方向上相邻的所述切口部分别交替地形成在所述触头的靠所述梁部的固定端部侧的侧部和靠所述梁部的自由端部侧的侧部。
5.如权利要求1所述的探针,其中,
所述切口部被形成为使得所述触头不会由于施加在该触头上的接触压力而在上下方向上被压缩。
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