[发明专利]高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法

权利要求书

1.一种高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，具备：

臭氧发生器；

内装吸附由上述臭氧发生器发生的臭氧化气体的臭氧的臭氧吸附剂的多个吸附解吸塔；

使由上述臭氧发生器发生的上述臭氧化气体流入上述多个吸附解吸塔内的气体供给机构；

从吸附了上述吸附解吸塔内的上述臭氧的上述臭氧吸附剂排出氧的真空泵；

使排出上述吸附解吸塔内的氧而成为高浓度的上述臭氧化气体从该吸附解吸塔流出的输出机构；

能对相对于上述吸附解吸塔流入或流出的气体的流路进行切换开闭操作的多个开闭阀，

各上述吸附解吸塔进行如下的处理：使由上述臭氧发生器发生的超过大气压的规定浓度的臭氧化气体在0℃以下的低温状态下吸附于上述臭氧吸附剂的臭氧吸附处理；从吸附了臭氧的上述臭氧吸附剂排出氧的抽真空处理；使排出氧而成为高浓度的上述臭氧化气体由真空解吸或加温解吸向外部输出的解吸处理，

上述多个吸附解吸塔中的三塔以上的吸附解吸塔，串联循环配置，而构成主吸附解吸塔群，

其它的一塔以上的吸附解吸塔，与上述主吸附解吸塔群并列地配置构成辅助吸附解吸塔，

在上述主吸附解吸塔群的上述三塔以上的吸附解吸塔中的任一个都没有进行解吸处理的期间，上述辅助吸附解吸塔进行解吸处理。

2.如权利要求1所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，在上述串联循环配置的上述主吸附解吸塔群的上述三塔以上的吸附解吸塔中的至少每两塔中进行上述臭氧吸附处理，在上述主吸附解吸塔群的吸附解吸塔的每一塔中进行上述抽真空处理及上述解吸处理，而且呈循环性地反复进行上述臭氧吸附处理、上述抽真空处理及上述解吸处理，输出高浓度的臭氧化气体。

3.如权利要求1所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，具有使设置在上述吸附解吸塔上的上述真空泵的排气管线与上述多个吸附解吸塔中的其它的吸附解吸塔连接、使由上述真空泵排出的排出气体再次通过该其它的吸附解吸塔的结构。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，设置在上述吸附解吸塔上的上述真空泵的排气管线，经上述开闭阀与上述多个吸附解吸塔中的进行上述臭氧吸附处理的其它的吸附解吸塔连接。

5.如权利要求1至3中的任一项所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，上述吸附解吸塔，包括：

进行吸附臭氧的臭氧吸附处理、真空排出被吸附了的上述臭氧来提高臭氧化气体浓度的抽真空处理、及输出浓缩的臭氧的解吸处理的三塔以上的吸附解吸塔；

与这三个吸附解吸塔独立地进行上述臭氧吸附处理、上述抽真空处理、及上述解吸处理的一个以上的吸附解吸塔。

6.如权利要求1所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，将上述主吸附解吸塔群的各吸附解吸塔经上述开闭阀中的规定的开闭阀A做成Δ配管结构，而且在上述三塔的各吸附解吸塔的臭氧供给口上，作为从臭氧化气体发生器供给臭氧化气体的配管系统，经上述开闭阀中的规定的开闭阀B在各吸附解吸塔上做成并列配管结构，而且在上述三塔的各吸附解吸塔的臭氧出口上，作为在吸附工序期间使臭氧化气体的吸附后的排出气体(氧气体)排出的配管系统，经上述开闭阀中的规定的开闭阀C及调整吸附解吸塔内的压力的压力控制器，在臭氧分解塔上设置并列配管结构，而且作为在粗抽真空工序中用于对吸附解吸塔进行粗抽真空的配管系统，经上述开闭阀中的规定的开闭阀D，在真空泵上设置并列配管结构，另外，作为在解吸工序中用于取出高浓缩臭氧的配管系统，经上述开闭阀中的规定的开闭阀E，做成输出浓缩臭氧化气体的并列配管结构，通过以呈时间序列地反复进行向上述Δ配管的三塔中的每两塔供给臭氧化气体并排出吸附的臭氧化气体的臭氧吸附处理、仅对在上述臭氧吸附处理中吸附的前段的吸附解吸塔进行抽真空的臭氧化气体抽真空处理、从进行抽真空的吸附解吸塔取出高浓度臭氧的解吸处理的方式对每个臭氧吸附解吸塔进行上述开闭阀A、B、C及D的开闭控制，从各吸附解吸塔输出高浓度的臭氧浓缩气体。

7.如权利要求1至6中的任一项所述的高浓度臭氧气体生成装置，其特征在于，通过使向上述吸附解吸塔内供给的规定浓度的臭氧化气体的臭氧浓度为300g/Nm3以上，使吸附解吸塔内的吸附压力在0.15MPa(G)～0.5MPa(G)的范围内，而使吸附解吸塔内的吸附温度为-70℃以上。