[发明专利]加工对象物切断方法

权利要求书

1.一种加工对象物切断方法，其特征在于，

是用于沿着切断预定线将板状的加工对象物切断的加工对象物切断方法，

所述加工对象物切断方法包含，

形成改质区域的工序，通过使聚光点对准所述加工对象物并照射激光，从而沿着改质区域形成线，在所述加工对象物中形成改质区域，其中，所述改质区域形成线从所述加工对象物的外缘向规定的距离的内侧并沿着所述外缘而被设定；

沿着所述切断预定线在所述加工对象物中形成切断起点区域的工序；以及

以所述切断起点区域为起点并沿着所述切断预定线将所述加工对象物切断的工序。

2.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述切断起点区域的端部位于所述加工对象物的所述改质区域的外侧。

3.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述切断起点区域的端部位于所述加工对象物的所述改质区域上或者所述改质区域的内侧。

4.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界的外侧。

5.如权利要求2所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界的外侧。

6.如权利要求3所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界的外侧。

7.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界上或者该边界的内侧。

8.如权利要求2所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界上或者该边界的内侧。

9.如权利要求3所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述加工对象物具有外缘部和该外缘部的内侧的有效区域，

所述改质区域被形成于所述加工对象物的所述外缘部和所述有效区域之间的边界上或者该边界的内侧。

10.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述切断起点区域是通过使聚光点对准所述加工对象物并照射激光而形成的切断用改质区域。

11.如权利要求1所述的加工对象物切断方法，其特征在于，

所述切断用改质区域未露出于所述加工对象物的表面以及背面。