[发明专利]探针装置

权利要求书

1.一种探针装置，用于检查被检查体的电气特性，该探针装置包括：

探针卡，其包括支撑板和电路基板，该支撑板支撑触头，该触头接触到被检查体，该电路基板配置在所述支撑板的上表面一侧；

加强部件，其一部分配置在所述电路基板的上表面一侧，该加强部件对所述电路基板进行加强；以及

保持部件，保持所述加强部件的外周部；

使被固定在所述保持部件上的固定部件插穿所述加强部件的外周部，

多个导向孔在所述加强部件的厚度方向上贯穿所述加强部件而成，该导向孔用于引导所述加强部件在水平方向上伸缩，

所述导向孔形成为在俯视下其长度方向上的长度比所述固定部件的直径长，

所述导向孔的长度方向上的中心线通过所述加强部件的中心。

2.如权利要求1所述的探针装置，其中，

在所述固定部件的上部设置有凸缘部，

在所述导向孔的内周形成有台阶部，该台阶部能够卡止所述凸缘部。

3.如权利要求1所述的探针装置，其中，

在所述固定部件的外周设置有套管，

在所述套管的上部设置有另一凸缘部，

在所述引导部的内周设置有台阶部，该台阶部能够卡止所述另一凸缘部，

所述另一凸缘部的下表面和所述保持部件的上表面之间的距离比所述保持部件的上表面和所述台阶部之间的距离长。

4.如权利要求1所述的探针装置，其中，

所述导向孔在俯视下以中心角相隔45度或90度的方式形成在以所述加强部件的中心为圆心的同一圆周上。