[发明专利]衬底处理所用的举升销

权利要求书

1.一种用于操作衬底承载座的承载表面上方的衬底的举升销，该举升销包含：

销杆，包含截面，所述截面具有至少三个等长边与三个圆角，且所述等长边及所述圆角为交错配置；

销头，位于所述销杆的端部，其中所述销头具有凸出承载面，且所述凸出承载面大于所述销杆的所述截面；以及

平坦部，位于所述凸出承载面的中间区域上，用以直接接触所述衬底。

2.如权利要求1所述的举升销，其中所述圆角为圆周的一部分，且所述销杆的所述截面为具有三个圆角的等边三角形。

3.如权利要求1所述的举升销，其中所述平坦部小于所述销杆的所述截面。

4.如权利要求1所述的举升销，其中当所述平坦部接触所述衬底时，所述凸出承载面与所述衬底的底面之间的夹角约为5度。

5.如权利要求1所述的举升销，其中所述平坦部为圆形区域。

6.如权利要求1所述的举升销，其中所述凸出承载面为圆形区域。

7.如权利要求1所述的举升销，其中所述销杆包含氧化铝。

8.一种衬底承载组件，用以操作位于其上方的衬底，所述衬底承载组件包含：

举升销组件，包含多个举升销，且每一个所述举升销包含；

销杆，包含截面，所述截面具有至少三个等长边与三个圆角，且所述等长边及所述圆角为交错配置；

销头，位于所述销杆的端部，其中所述销头具有凸出承载面，且所述凸出承载面大于所述销杆的所述截面；以及

平坦部，位于所述凸出承载面的中间区域上，用以直接接触所述衬底；以及

衬底承载座，具有多个销孔洞，所述举升销可移动穿过所述些销孔洞以操作所述衬底。

9.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述销杆包含氧化铝。

10.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述衬底承载座包含陶瓷材料。

11.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述圆角为圆周的一部分，且所述销杆的所述截面为具有三个圆角的等边三角形。

12.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述平坦部小于所述销杆的所述截面。

13.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中当所述平坦部接触所述衬底时，所述凸出承载面与所述衬底的底面之间的夹角约为5度。

14.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述平坦部为圆形区域。

15.如权利要求8所述的衬底承载组件，其中所述凸出承载面为圆形区域。